[实用新型]CGC单晶硅晶体生长控制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种控制器，特别涉及一种高测控性能的单晶硅晶体生长控制器。

背景技术

之前的晶体生长控制器的微控制器测控功能不是很强大，一些元器件品质也不是很高，从而导致测量的数据不是很精确；同时容错与数据安全保护也存在一些漏洞，不能完全保证系统的安全可靠。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种高测控性能的单晶硅晶体生长控制器。具有测量数据精确和安全的特点。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

单晶硅晶体生长控制器，其特征在于，包括工控机9、单晶炉CGC2000控制器10、单晶炉电机11、加热器12和晶体生长监控单元13，单晶炉CGC2000控制器10包括直径控制器1、温校控制器2、晶升速度单元3、埚升速度单元4、晶转埚转速度单元5、温校控制设定单元6、程序控制曲线单元7和晶体重量计算模块8，直径控制器1的输出端和晶升速度单元3的输入端、埚升速度单元4的输入端相连，温校控制器2输出端与程序控制曲线单元7的输入端、温校控制设定单元6的输入端相连，晶升速度单元3的输入端、埚升速度单元4的输入端与程序控制曲线单元7的输出端相连，晶转埚转速度单元5的输入端与程序控制曲线单元7的输入端相连，温校控制设定单元6的输出端与加热器12相连，晶转埚转速度单元5的输出端、晶升速度单元3的输出端、埚升速度单元4的输出端与单晶炉电机11相连，直径控制器1、温校控制器2、晶体重量计算模块8的输入端与工控机9的输出端相连，单晶炉CGC2000控制器10的输出端与晶体生长监控单元13的输入端相连。

所述的单晶炉CGC2000控制器10可以是多个，其输出端与晶体生长监控单元13中光隔485通讯卡14的输入端并联，光隔485通讯卡14的输出端与晶体生产过程实时监控单元15的输入端相连，晶体生产过程实时监控单元15的输出端与打印机16的打印端口相连。

所述的单晶炉CGC2000控制器10最多可以是8个并联。

本实用新型的工控机9采用触摸屏使得控制操作更加友好化；晶体生产过程实时监控单元14对单晶炉CGC2000控制器10进行实时监控，这样可以减少人力物力的投入并使得控制操作更加方便。

附图说明

图1是本实用新型的结构原理图。

图2是本实用新型单晶炉CGC2000控制器10并联示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理做详细叙述。

参照附图，单晶硅晶体生长控制器，其特征在于，包括工控机9、单晶炉CGC2000控制器10、单晶炉电机11、加热器12和晶体生长监控单元13，单晶炉CGC2000控制器10包括直径控制器1、温校控制器2、晶升速度单元3、埚升速度单元4、晶转埚转速度单元5、温校控制设定单元6、程序控制曲线单元7和晶体重量计算模块8，直径控制器1的输出端和晶升速度单元3的输入端、埚升速度单元4的输入端相连，温校控制器2输出端与程序控制曲线单元7的输入端、温校控制设定单元6的输入端相连，晶升速度单元3的输入端、埚升速度单元4的输入端与程序控制曲线单元7的输出端相连，晶转埚转速度单元5的输入端与程序控制曲线单元7的输入端相连，温校控制设定单元6的输出端与加热器12相连，晶转埚转速度单元5的输出端、晶升速度单元3的输出端、埚升速度单元4的输出端与单晶炉电机11相连，直径控制器1、温校控制器2、晶体重量计算模块8的输入端与工控机9的输出端相连，单晶炉CGC2000控制器10的输出端与晶体生长监控单元13的输入端相连。

所述的单晶炉CGC2000控制器10可以是多个，其输出端与晶体生长监控单元13中光隔485通讯卡14的输入端并联，光隔485通讯卡14的输出端与晶体生产过程实时监控单元15的输入端相连，晶体生产过程实时监控单元15的输出端与打印机16的打印端口相连。

所述的单晶炉CGC2000控制器10最多可以是8个并联。

本实用新型的工作原理是：工控机9的输入端和直径控制器1的输入端、温校控制器2的输入端、晶体重量计算模块8的输入端相连，使得直径信号、温校信号、晶体重量信号在工控机9上显示，工控机9采用触摸屏使得控制操作更加友好化。

晶体生产过程实时监控单元14与N(其中N＜＝8)个单晶炉CGC2000控制器10相连，对单晶炉CGC2000控制器10进行实时监控，这样可以减少人力物力的投入并使得控制操作更加方便。