[实用新型]一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具无效
| 申请号： | 200920035276.8 | 申请日： | 2009-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN201387222Y | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | 陈世强;邹虎 | 申请（专利权）人： | 无锡市奥曼特科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/08 | 分类号： | F26B25/08;F26B5/08 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所（普通合伙） | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214024江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改良 用于 硅片 甩干机 放置 夹具 | ||
【权利要求书】：
1、一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其包括两块底板和两块侧板，所述两块底板和两块侧板相互扣接，其特征在于：其还包括侧挡杆和下挡杆，所述底板上开有卡孔，所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
2、根据权利要求1所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述底板上与侧挡杆、下挡杆相对应的卡孔分别设置有两组。
3、根据权利要求2所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述侧挡杆和下挡杆分别有两根。
4、根据权利要求3所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述下档杆设置有侧挡边。
5、根据权利要求4所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述下挡杆底部边缘设置有凸起。
6、根据权利要求5所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述侧板正面开有主排水孔；所述主排水孔设置有两个。
7、根据权利要求6所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述侧板的底面开有小排水孔。
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