[实用新型]一种改良的硅片甩干机传动结构

说明书

(一)技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，具体为一种改良的硅片甩干机传动结构。

(二)背景技术

硅片切割并清洗以后，一般都将硅片放置于硅片甩干机上，对硅片进行快速甩干处理。硅片甩干机由电机驱动轴承带动安装有待甩干硅片的旋转座来快速甩干硅片，以往主轴外端安装的是一对远距离布置的圆锥辊子轴承，其缺点在于其轴承游隙调整困难，游隙过小轴承温升后发热易卡死，游隙过大影响旋转座在高速旋转过程中的平稳性，严重时会损坏硅片。

(三)实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种改良的硅片甩干机传动结构，其能保证旋转座的平稳旋转，提高了硅片的安全性。

其技术方案是这样的：其包括电机、主轴，所述电机安装于电机座，所述电机旋转轴与小带轮连接，所述主轴安装于套筒内，所述套筒安装于轴承座内，所述主轴通过大带轮与所述小带轮连接，其特征在于：所述主轴外部安装有角接触球轴承。

其进一步特征在于：所述角接触球轴承设置有两个；所述两个角接触球轴承背靠背顺序轴向安装；所述角接触球轴下部安装于所述轴承座和套筒的台阶面上，上部卡接于所述主轴的轴肩处，上端压盖固定。

使用本实用新型的硅片甩干机传动结构，其采用一对背靠背布置的角接触球轴承代替以往远距离布置的圆锥辊子轴承，从而提高了轴向定位的精确性，保证了在高速旋转过程中旋转座的平稳性，继而保证了硅片在甩干过程中不会因为旋转座的不稳而损坏硅片。

(四)附图说明

图1为本实用新型主视的结构示意图。

(五)具体实施方式

见图1，本实用新型包括电机、主轴4，电机安装于电机座7，电机旋转轴与小带轮6连接，主轴4安装于套筒15内，套筒15安装于轴承座1内，主轴4通过大带轮5与小带轮6连接，主轴4外部安装有角接触球轴承17。角接触球轴承17设置有两个；两个角接触球轴承17背靠背顺序轴向安装于套筒15外部；角接触球轴承17内外圈下部分别安装于套筒15和轴承座1的台阶面上，轴承内圈上部卡接于主轴4的轴肩处，其轴承外圈上端用压盖10固定。这样，轴的轴向方向即被固定。

图1中，18为深沟球轴承，起到浮动支承的作用，2为轴承端盖，起到防尘作用；14为挡圈、16为主轴4的下端套筒、8是大垫片、9是小垫片、12是防水盖、13为胀套、11是旋转盖、3为连接套。