[实用新型]一种金属卤素曝光灯

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电子网板制造中曝光机用金属卤素曝光灯。

背景技术

对于制造电子网板曝光机用金属卤素曝光灯，目前国内处于空白状态，国际上也只有荷兰Calmat公司能设计生产，型号为SBL-8T。国内制造电子网板曝光机用曝光灯，目前主要从荷兰Calmat公司进口。但荷兰Calmat公司生产的SBL-8T曝光灯，存在反光膜对所需波长的紫外线反射率低、反射功率小、反光膜耐高温性能差、性能不稳定、工作中灯芯易熄弧等技术问题，影响电子网板的制造质量。

发明内容

为克服现有进口金属卤素曝光灯存在的技术不足，本实用新型提供一种金属卤素曝光灯，该金属卤素曝光灯，不仅解决了进口金属卤素曝光灯在技术上存在的不足问题，而且在技术性能上比进口金属卤素曝光灯有了大幅度提高。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：珍珠屏灯罩和灯锥结合处，经熔焊后组成金属卤素曝光灯外壳，内部充入氮气；在灯锥内壁上涂有一层特殊的紫外线反光膜；在灯锥尾部，两电源接片、金属帽、支架分别依次连接，将外部电源引入金属卤素曝光灯外壳内；与支架相连的两钼杆，与钼片、钍钨电极依次连接组成灯芯两放电极；灯芯内充入金属卤化物。当两电源接片接入电源，灯芯两放电极，因受电压作用击穿金属卤化物而放电，灯芯将发出波长从300～1000nm的各种波长的紫外线光。又因受灯锥紫外线反光膜对不同波长紫外线光反射的特殊选择作用：波长320～350nm、420～450nm的紫外线光将有90％以上被反射回去；波长350～420nm的紫外线光将几乎100％的被反射回去；而波长450～1000nm的紫外线光则只有不到30％被反射回去。而波长320～450nm的紫外线光，正是电子网板制造过程中所需要的紫外线光。

其中：所述在灯锥内壁上涂有一层特殊的紫外线反光膜，其对波长350～420nm的紫外线光透过率接近零；对波长320～350nm、420～450nm的紫外线光透过率小于10％；而对波长450～1000nm的紫外线光透过率高于70％。

所述灯芯内充入金属卤化物，其成分含K85气体、碘化铁、碘化镓、碘化铟和水银。

本发明的有益效果是：反光膜对所需波长的紫外线光反射率高、输出功率大；反射膜附着率强、耐高温性能好而且稳定、工作可靠；工作中灯芯不熄弧。

附图说明

下面结合图1和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型纵剖面结构图。

图中1.珍珠屏灯罩，2.支架，3.钼片，4.钍钨电极，5.金属卤化物，6.钼杆，7.灯锥，8.电源接片，9.金属帽，10.反光膜，11.氮气。

具体实施方式

下面参阅图1所示实施例，对本实用新型技术方案作进一步说明。珍珠屏灯罩(1)和灯锥(7)结合处经熔焊组成金属卤素曝光灯外壳，内部充入氮气(11)；在灯锥(7)内壁上涂有一层特殊紫外线反光膜(10)，其对波长350～420nm的紫外线光透过率接近零；对波长320～350nm、420～450nm的紫外线光透过率小于10％；而对波长450～1000nm的紫外线光透过率高于70％；在灯锥尾部，两电源接片(8)、金属帽(9)、支架(2)分别依次连接，作为电源引线，将外部电源引入金属卤素曝光灯外壳内；与支架(2)相连的两钼杆(6)，与钼片(3)、钍钨电极(4)依次连接组成灯芯两放电极；灯芯内充入金属卤化物，其由K85气体、碘化铁、碘化镓、碘化铟和水银组成。