[实用新型]一种显微分光测量装置

权利要求书

1、一种显微分光测量装置，包括照明系统、投光系统和成像光学系统，照明系统用以将光源所发出的光输送给投光光学系统，投光系统包括半透半反镜，将照明系统的光经半透半反镜后投射到被测面上，被测面的反射光再经半透半反镜后被送入成像光学系统，成像光学系统包括包括左目镜和右目镜，其特征在于，右目镜前设有补偿透镜，进入成像光学系统的被测面的反射光被分光后，一束经补偿透镜会聚在右目镜的焦平面上，一束成像于左目镜焦平面上。

2、如权利要求1所述的显微分光测量装置，其特征在于所述显微分光测量装置还包括分析系统，被测面的反射光经半透半反镜后被分光，一束送入成像光学系统，一束送入分析系统，所述分析系统通过光纤接受被测面的反射光并将其汇聚到光接收器上。

3、如权利要求2所述的显微分光测量装置，其特征在于所述光纤为多芯光纤。

4、如权利要求3所述的显微分光测量装置，其特征在于所述光纤接收端截面为圆形，射出端截面为“一”字形。

5、如权利要求4所述的显微分光测量装置，其特征在于所述光纤含7根纤芯，接受端中心一根纤芯，周围均匀分布六根纤芯。

6、如权利要求2所述的显微分光测量装置，其特征在于所述分析系统还包括受光耦合系统，受光耦合系统接收从光纤发出的被测面的反射光，耦合后汇聚到光接收器上。

7、如权利要求6所述的显微分光测量装置，其特征在于受光耦合系统包括透镜和小球，透镜光轴与光芯中轴线重合，小球球心在光芯中轴线的延长线上，从光纤发出的被测面反射光经透镜聚焦，再与小球耦合，汇聚到光接收器上。

8、如权利要求1-7任一项所述的显微分光测量装置，其特征在于所述半透半反镜以光轴为对称轴，反射部分与透过部分对称配置，而且反射部分与透过部分的个数均为奇数。

9、如权利要求8所述的显微分光测量装置，其特征在于投光系统包括物镜系统，所述半透半反镜位于物镜系统的出瞳附近。

10、如权利要求1-7任一项所述的显微分光测量装置，其特征在于照明系统、投光系统、成像光学系统分别构成无限远光学系统。