[实用新型]一种步进式微区压印系统有效

专利信息
申请号: 200920039610.7 申请日: 2009-04-17
公开(公告)号: CN201395509Y 公开(公告)日: 2010-02-03
发明(设计)人: 皮利华;申溯;楼益民;庄孝磊;周芳;陈林森 申请(专利权)人: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司;苏州大学
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B82B3/00;H01L21/82
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人: 陶海锋
地址: 215026江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 步进 式微 压印 系统
【权利要求书】:

1.一种步进式微区压印系统,包括放置待压印基板(38)的工作平台(13),安装压印模仁(30)的压印头(31)及其驱动装置,固化结构及控制装置;以待压印基板(38)所在平面为x-y平面,所述工作平台(13)与所述压印头(31)具有x轴和y轴方向的相对平移运动自由度,所述压印模仁(30)的驱动装置包括数控的使压印模仁绕z轴旋转的旋转运动装置和数控的z轴方向的平移运动装置,所述控制装置(18)提供各运动装置的控制信号、固化信号,并实现压力控制;其特征在于,所述数控的使压印模仁绕z轴旋转的旋转运动装置和数控的z轴方向的平移运动装置的结构为:压印头连接板(7)上设有伺服电机(8),伺服电机(8)驱动连接板(23)沿z轴方向上下运动,构成所述平移运动装置;伺服电机(35)控制主同步带轮(34),并通过主同步带轮(34)同步带动从同步带轮(27)转动,压印头(31)通过隔热板(28)与从同步带轮(27)连接,构成所述旋转运动装置;压印头(31)的底部设有压印模仁(30),所述压印头上还设有自调平机构(33),所述自调平机构(33)通过第一减压阀(5)和第二减压阀(20)分别控制平移运动装置导向驱动器(25)的上、下气缸的气体压力;所述压印头(31)上还设有加热器(29)和温度传感器(32)。

2.根据权利要求1所述的步进式微区压印系统,其特征在于:所述固化结构为热压印结构,由设置于压印模仁(30)上方的加热装置构成。

3.根据权利要求1所述的步进式微区压印系统,其特征在于:所述固化结构为紫外压印结构,在压印头上方或工作平台下方设置有紫外灯。

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