[实用新型]直拉法生产18吋太阳能用硅单晶的热场装置无效
申请号: | 200920042951.X | 申请日: | 2009-06-30 |
公开(公告)号: | CN201530877U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 施海明;陆景刚;张锦根;鄂林 | 申请(专利权)人: | 镇江环太硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人: | 夏哲华 |
地址: | 212216 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直拉法 生产 18 太阳 能用 硅单晶 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种直拉法生产18时太阳能用硅单晶的热场装置,包括有外壳、安装在外壳中心的石墨坩埚、位于石墨坩埚内的石英坩埚、位于石墨坩埚外围的加热电极和位于石英坩埚内侧的导流筒,其特征是:所述加热电极在上、下方向上的长度为120-150毫米,加热电极的上沿距离导流筒的最短距离为60-85毫米之间,所述石墨坩埚低于石英坩埚20-30毫米。
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