[实用新型]单晶硅棒料开方检验设备组合无效
申请号: | 200920042955.8 | 申请日: | 2009-06-30 |
公开(公告)号: | CN201534360U | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 施海明;陆景刚;张锦根;鄂林 | 申请(专利权)人: | 镇江环太硅科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/00 |
代理公司: | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人: | 夏哲华 |
地址: | 212216 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 开方 检验 设备 组合 | ||
【权利要求书】:
1.一种单晶硅棒料开方检验设备组合,包括有尺寸测量及划线工具(1)、红外测试仪(2)和少子测试机(3),其特征是:所述测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机三个部分依次排布,三个部分之间通过自动传送带(4)连接。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒料开方检验设备组合,其特征是:由自动传送带(4)连接的划线工具(1)、红外测试仪(2)和少子测试机(3)设置有多组,各组之间由检测操作空间(5)间隔。
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