[实用新型]镀膜线旋转靶水头轴套

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种镀膜线设备，特别是一种镀膜线旋转靶水头轴套。

背景技术：

现有的镀膜线在工作时，旋转靶通电、旋转工作，由于通电会产生热量需要通过水来冷却，而通过水冷却不仅需要一定量的水以及水的循环，还需要水的密封性，现有的镀膜线旋转靶头，其水头轴套是由不锈钢材料制成的，并在表面镀硬铬，能够防磨耐锈，但在工作时，由于和轴承以及密封圈之间的摩擦会出现凹凸，使其使用寿命减少、冷却水泄漏，流入真空镀膜室，影响磁场，另有采用原装进口的镀膜线，但这种成本较高，且因进口，不仅花费时间较长，对生产造成很大的影响。

发明内容：

本实用新型的目的是为了克服以上的不足，提供一种能提高靶材利用率，减少成本、提高使用寿命、防止水泄漏和靶材打弧的镀膜线旋转靶水头轴套。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体，壳体下端设有凸台，在凸台的下表面设有固定孔，凸台的外圆周上设有圆弧凹槽壳体内部为空心结构，且壳体为2Cr13材料。

本实用新型与现有技术相比具有的优点：靶材形式采用旋转靶，提高了靶材的利用率，降低了成本，采用2Cr13材料不仅耐磨、防锈，硬度提高且使用寿命提高，能够防止水泄漏和靶材打弧。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图中标号：1-壳体、2-凸台、3-固定孔。

具体实施方式：

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

如图1示出了本实用新型镀膜线旋转靶水头轴套的一种实施方式，包括壳体1，壳体1下端设有凸台2，凸台可为圆形，在凸台2的下表面设有四个固定孔3，并均匀的分布在凸台的圆周上，在凸台的外圆周上设有圆弧凹槽4，可以防止水泄漏，壳体内部为空心结构，且壳体为2Cr13材料。靶材形式采用旋转靶，可以提高靶材的利用率，镀膜线在工作时，旋转靶通电、旋转工作，由于通电会产生热量，就需要通水冷却，采用2Cr13材料先后进行调质、淬火处理，最后进行镀硬铬，制成水头轴套，这样不仅硬度提高，且可以耐磨、防锈，提高了镀膜线旋转水靶头的使用寿命，解决了水泄漏、靶材打弧等问题，且相对于进口的镀膜线旋转水靶头节约了成本。