[实用新型]镀膜线旋转水靶头系统

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种镀膜线设备，特别是一种镀膜线旋转水靶头系统。

背景技术：

现有的镀膜线在工作时，旋转靶通电、旋转工作，由于通电会产生热量需要通过水来冷却，而通过水冷却不仅需要一定量的水以及水的循环，还需要水的密封性，现有的镀膜线旋转靶头，在工作时，由于和轴承以及滚针轴承之间的摩擦会出现凹凸，使其使用寿命减少、冷却水泄漏，流入真空镀膜室，影响磁场，另有采用原装进口的镀膜线，但这种成本较高，且因进口，不仅花费时间较长，对生产造成很大的影响，且维修不方便。

发明内容：

本实用新型的目的是为了克服以上的不足，提供一种能提高靶材利用率，减少成本、维修方便、提高使用寿命、防止水泄漏和靶材打弧、节约时间、维修方便的镀膜线旋转水靶头系统。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种镀膜线旋转水靶头系统，包括转动轴、旋转靶轴座、进出水管组件、接头装置，在转动轴上连接有水头轴套，水头轴套外连接有外轴套，水头轴套与外轴套之间设有滚针轴承，外轴套与旋转靶轴座下端相连接，且进出水管组件置于旋转靶轴座中，进出水管组件与接头装置相连接。

本实用新型的进一步改进在于：所述水头轴套为2Cr13材料。

本实用新型的进一步改进在于：所述外轴套为聚甲醛。

本实用新型与现有技术相比具有的优点：靶材形式采用旋转靶，提高了靶材的利用率，降低了成本，采用2Cr13材料不仅耐磨、防锈，硬度提高且使用寿命提高，能够防止水泄漏和靶材打弧，节约时间，维修方便。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图中标号：1-转动轴、2-旋转靶轴座、3-进出水管组件、4-接头装置、5-水头轴套、6-外轴套、7-滚针轴承。

具体实施方式：

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

如图1示出了本实用新型镀膜线旋转水靶头系统的一种实施方式，包括转动轴1、旋转靶轴座2、进出水管组件3、接头装置4，在转动轴1上连接有水头轴套5，水头轴套5为2Cr13材料，在水头轴套5外连接有外轴套6，外轴套6为聚甲醛，水头轴套5与外轴套6之间设有滚针轴承7，外轴套6与旋转靶轴座2下端相连接，且进出水管组件3置于旋转靶轴座2中，进出水管组件3与接头装置4相连接.靶材形式采用旋转靶，可以提高靶材的利用率，镀膜线在工作时，旋转靶通电、旋转工作，由于通电会产生热量，就需要通水冷却，采用2Cr13材料先后进行调质、淬火处理，最后进行镀硬铬，制成水头轴套，这样不仅硬度提高，且可以耐磨、防锈，提高了镀膜线旋转水靶头系统的使用寿命，解决了水泄漏、靶材打弧等问题，且相对于进口的镀膜线旋转水靶头系统节约了成本，维修方便.