[实用新型]硅片离心脱水架

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片离心脱水时的辅助容器，尤其是涉及一种用于硅片离心脱水的硅片离心脱水架。

背景技术

硅片在生产过程中需要经过清洗、烘干的工序，清洗后，由于硅片上的水较多，烘干所用的时间较长，而且会在硅片的表面形成水渍，因此，在硅片进行烘干前，需在离心脱水机上脱水。在硅片脱水时，硅片装入离心脱水架，然后在离心脱水机中脱水，由于离心脱水架与硅片之间存在一些间隙，并且离心脱水时的振动较大，较易造成硅片的损伤，甚至破碎，造成硅片生产合格率的下降。

实用新型内容

本申请人针对上述的问题，进行了研究改进，提供一种结构简单、使用方便的硅片离心脱水架，减少硅片在脱水过程中的破损，提高硅片生产的合格率，降低硅片的生产成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种硅片离心脱水架，包括外架及内架，使用时，内架嵌装在外架中；所述外架为单面开口的长方体，外架的侧面及底面上开有多个脱水孔，两个相对的侧面外侧设有挂杆；所述内架包括铰接在一起的左架及右架，左架及右架上分别设有相对的多个V形容片槽，左架及右架的侧壁外分别设有楔块，左架及右架后部的相应位置上分别设有止块，左架及右架的侧壁开设有通孔。

进一步的：

所述V形容片槽的角度为45°～90°。

所述左架及右架的外侧设有“L”形拉手。

本实用新型的技术效果在于：

本实用新型公开的一种硅片离心脱水架，结构简单，使用方便，采用内架及外架的结构，构成内架的左、右架铰接并在左、右架的外侧壁上设有楔块，并采用V形容片槽，从而消除硅片与容片槽之间的间隙，减少硅片由于脱水过程中的振动而引起的破损，提高硅片生产的合格率，降低硅片的生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的三维结构示意图。

图2为本实用新型内架的三维结构示意图。

图3为左架的三维结构示意图。

图4为右架的三维结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

如图1、2、3、4所示，本实用新型包括外架1及内架2，使用时，内架2嵌装在外架1中，外架1为单面开口的长方体，外架1的侧面及底面上开有多个脱水孔101，两个相对的侧面外侧设有挂杆102。内架2包括左架3及右架4，右架4上设有销轴401，左架3上设有销轴孔301，通过销轴401及销轴孔301使左架3及右架4铰接在一起的。左架3及右架4上分别设有相对的多个V形容片槽5，V形容片槽5的角度A的最佳实施范围为45°～90°，在本实施例中，V形容片槽5的角度A为60°。左架3及右架4的侧壁外分别设有楔块6，左架及右架的侧壁开设有通孔8。左架3的销轴孔301后部设有止块302，右架4的销轴401后部设有止块402，止块302及止块402分别在左架3及右架4的相应位置上，使左架3及右架4可以向内闭合，而不能向外张开，避免在装入硅片及取出硅片时，左架3及右架4张开而使硅片掉落，造成不必要的损失。左架3及右架4的外侧的上、下部设有“L”形拉手9，便于内架2从外架1中取出。

使用时，先将硅片插入内架2的容片槽5中，再把内架2嵌装到外架1中，由于楔块6及外架1的作用，使左架3及右架4向内闭合，使硅片夹紧在容片槽5中，从而消除硅片与容片槽5之间的间隙，从而减小离心脱水机振动对硅片造成的损伤。