[实用新型]硅单晶棒测试样片制取装置无效
申请号: | 200920046265.X | 申请日: | 2009-06-03 |
公开(公告)号: | CN201555728U | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 马四海;张笑天 | 申请(专利权)人: | 芜湖升阳光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N1/06 | 分类号: | G01N1/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 241100 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅单晶棒 测试 样片 制取 装置 | ||
1.一种硅单晶棒测试样片制取装置,应用于金刚带锯切割机,所述切割机上的金刚带锯沿硅单晶棒(3)的横截面切割硅单晶棒测试样片,其特征在于:所述的硅单晶棒测试样片制取装置设橡胶吸盘(1),所述的橡胶吸盘(1)的外形为锥形,其锥形的大端面上设有锥形的内凹。
2.按照权利要求1所述的硅单晶棒测试样片制取装置,其特征在于:所述的橡胶吸盘(1)的外部锥形的顶端,设橡胶托杆(2),所述的橡胶托杆(2)的端部与所述的橡胶吸盘(1)连接为一体。
3.按照权利要求1或2所述的硅单晶棒测试样片制取装置,其特征在于:所述的橡胶吸盘(1)的大端外圆直径为30~50mm。
4.按照权利要求2所述的硅单晶棒测试样片制取装置,其特征在于:所述的橡胶托杆(2)的长度为250~350mm。
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