[实用新型]一种单晶炉传动部件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉传动部件。

背景技术

单晶炉是单晶体的生长设备，其最重要的部分即是机械传动部分。目前较常用的则是提拉法单晶炉，对于其传动部分中坩埚杆的旋转的稳定性、精度要求较高，而单晶体被提拉的过程中会产生一些氧化物或杂质，这些氧化物、杂质如不进行清理，或者采取某种措施，很容易堵塞坩埚杆与其外围配合件之间的缝隙，甚至进入坩埚杆的主要传动配件如轴承的缝隙，从而影响坩埚杆的旋转精度。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种单晶炉传动部件，可以盛接氧化物、杂质，避免杂质对坩埚杆的转动造成影响，且安装拆卸方便。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案为：

一种单晶炉传动部件，包括导轨、滑座、坩埚杆、坩埚杆支撑件、波纹管，所述滑座安装在导轨上，所述坩埚杆支撑件与滑座固定连接，且套装固定在坩埚杆的外圆周表面，所述波纹管底端与坩埚杆支撑件相连接，所述坩埚杆穿过波纹管内腔；还包括一敞口渣斗箱，所述坩埚杆纵向穿过渣斗箱，所述渣斗箱置于坩埚杆的阶梯面上。

为使得渣斗箱定位可靠，所述渣斗箱位于坩埚杆与波纹管径向之间，且其上表面顶在波纹管的内壁凸沿上。

上述传动部件的坩埚杆在不同驱动装置作用下可同时进行绕轴线转动和上下移动，其带动渣斗箱一起旋转和移动，则单晶体在被提拉过程中产生的一些氧化物或杂质，掉进渣斗箱，且渣斗箱可做定期清理，以免杂质影响坩埚杆的旋转精度。坩埚杆支撑件包括一压圈、支撑套，压圈与支撑套通过连接件固定连接，压圈内壁的凸环与波纹管底端外壁的凸缘相扣，波纹管底面与支撑套上表面接触，在坩埚杆上下移动的过程中，波纹管被压缩或拉伸。

本实用新型的一种单晶炉传动部件，其设置的渣斗箱可以暂时盛接氧化物、杂质，避免杂质对坩埚杆的转动造成影响，且杂质可定期处理，渣斗箱安装拆卸方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型A的结构放大示意图。

图中：1-导轨，2-滑座，3-坩埚杆，3-1-阶梯面，4-波纹管，4-1-凸缘，4-2-内壁凸沿，5-渣斗箱，6-压圈，6-1-凸环，7-支撑套。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型做进一步说明。

一种单晶炉传动部件，如图1、图2所示，包括导轨1、滑座2、坩埚杆3、坩埚杆支撑件、波纹管4、渣斗箱5。

滑座2安装在导轨1上；坩埚杆支撑件包括一压圈6、支撑套7，压圈6与支撑套7通过螺钉固定连接，压圈6内壁的凸环6-1与波纹管4底端外壁的凸缘4-1相扣，波纹管4底面与支撑套7上表面接触；坩埚杆3穿过波纹管4，且穿过渣斗箱5，渣斗箱5置于坩埚杆3的阶梯面3-1上。渣斗箱5位于坩埚杆3与波纹管4之间，且其上表面顶在波纹管4的内壁凸沿4-2上。

坩埚杆支撑件通过支撑套7与滑座2固定连接，且套装固定在坩埚杆3的外圆周表面。

坩埚杆3在不同驱动装置作用下可同时进行绕轴线转动和上下移动，带动渣斗箱5一起旋转和移动，单晶体在被提拉过程中产生一些氧化物或杂质，掉进渣斗箱5。

渣斗箱5进行定期清理，清理时，拧开固定压圈6与支撑套7之间的螺钉，移走压圈6与波纹管4即可拆卸掉渣斗箱5。

本实用新型设置一渣斗箱，可暂时盛接氧化物、杂质，避免杂质对坩埚杆的转动造成影响，且杂质可定期处理。