[实用新型]电极装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电解蚀刻设备，特别是有关电解蚀刻设备的电极结构。

背景技术

目前，在现有的电解蚀刻设备中，喷电解蚀刻液的喷管一般安装在电极的附近，在向被电解蚀刻板喷电解蚀刻液时，电解蚀刻液在板表面上分布很不均匀，使电解蚀刻进行得不均匀，且电解蚀刻效率不高，制造成本高。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能进行均匀电解蚀刻，制造成本低的电极装置。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种电极装置，包括电极，电极上固定有支架，支架上装有喷管，喷管的出液口朝向电极底部和/或电极底面下方的空间，电极上装有电极滚轮且电极滚轮的轮底低于电极底面和/或支架上装有支架滚轮且支架滚轮的轮底低于电极底面。

为了合理布置电极滚轮，所述电极底部开有若干滚轮槽，每个滚轮槽中设置一个电极滚轮，电极上还开有支撑孔，支撑孔中装有滚轮轴，每个电极滚轮均套装在滚轮轴上。

为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，进一步提高电解蚀刻效率，所述喷管包括进液管段、平衡管段和出液管段，其中进液管段与平衡管段连通，平衡管段置于出液管段上并与出液管段固定连接，平衡管段底部具有若干出口，出液管段顶部具有若干进口，所述出口与进口相通，出液口设在出液管段上。

为了使喷液更加均匀、有方向性，所述出液管段上的出液口为一条或多条缝隙，该缝隙与出液管段的内孔大致相切。

为了调节缝隙的开口大小，所述出液管段上装有调节螺钉。

为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，进一步提高电解蚀刻效率，另一可选方案是，所述喷管包括进液管段和出液管段，出液口设在出液管段上，出液口为一条或多条缝隙，该缝隙与出液管段的内孔大致相切。

为了简化支架结构、便于组装，所述支架为若干个装在电极侧面上的板件，至少一侧支架上开有架设喷管用的卡槽，支架通过螺钉与电极固定连接。

为了合理布置支架滚轮，当支架上装有支架滚轮时，所述支架上装有滚轮轴，若干支架滚轮和隔套安装在滚轮轴上，隔套位于支架滚轮之间。

采用上述结构后，由于电极上固定有支架，支架上装有喷管，喷管的出液口朝向电极底部和/或电极底面下方的空间，电极上装有电极滚轮且电极滚轮的轮底低于电极底面和/或支架上装有支架滚轮且支架滚轮的轮底低于电极底面，因此在使用时，电极滚轮和/或支架滚轮与被电解蚀刻板的表面接触，以使电极底面与被电解蚀刻板的表面之间保持恒定的距离，使电解蚀刻液可以均匀布于被电解蚀刻板的表面并与电极底面接触导电，使电解蚀刻均匀进行；本实用新型电解蚀刻效率高，同时制造成本低。

附图说明

以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型电极装置的结构示意正视图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1的后视图；

图4是图1的仰视图；

图5是图1的左视图；

图6是图1的右视图；

图7是图1沿A-A线的剖视图；

图8是图4沿B-B线的剖视图；

图9是本实用新型中的支架的一种形式立体结构示意图；

图10是本实用新型中的支架的另一种形式立体结构示意图；

图11是本实用新型中的电极的立体结构示意图；

图12是本实用新型中的喷管的一种实施例的正视图；

图13是图12的俯视图；

图14是图12的后视图；

图15是图12沿C-C线的剖视图；

图16是本实用新型中的喷管的另一种实施例的结构示意图；

图17是图16所示喷管安装在支架上的示意图。

具体实施方式

如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，本实用新型中的电极装置，包括电极1，电极1上固定有支架2，支架2上装有喷管3，喷管3的出液口3-4朝向电极1底部和/或电极1底面下方的空间，电极1上装有电极滚轮4且电极滚轮4的轮底低于电极1底面和/或支架2上装有支架滚轮7且支架滚轮7的轮底低于电极1底面。

如图4、6、7、8、11所示，为了合理布置电极滚轮，所述电极1底部开有若干滚轮槽1-1，每个滚轮槽1-1中设置一个电极滚轮4，电极1上还开有支撑孔1-2，支撑孔1-2中装有滚轮轴5，每个电极滚轮4均套装在滚轮轴5上。