[实用新型]一种扫描探针显微镜全自动进样机构有效
申请号: | 200920053040.7 | 申请日: | 2009-03-20 |
公开(公告)号: | CN201373837Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 吴浚瀚 | 申请(专利权)人: | 北京本原纳米仪器有限公司 |
主分类号: | G01N13/10 | 分类号: | G01N13/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100000北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扫描 探针 显微镜 全自动 样机 | ||
【权利要求书】:
1、一种扫描探针显微镜全自动进样机构,包括探头、螺杆、基座以及电机,其特征在于:探头上安装有探针,基座中央的样品台周边设置有三条螺杆,螺杆的一端与探头配合连接,另一端穿插于基座并与电机相连接。
2、根据权利要求1所述的一种扫描探针显微镜全自动进样机构,其特征在于:所述的电机置于基座的下方,电机与螺杆一一对应连接。
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