[实用新型]应用于硅料清洗机上的机械手结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种机械手，特别是一种应用于对半导体、硅片、去磷硅玻璃进行清洗的硅料清洗机上的机械手结构。

背景技术

目前，有一种全自动硅料清洗机，该硅料清洗机内设有溶液槽和清洗篮，在硅料清洗机内还安装有机械手，通过机械手来搬运清洗篮，通常机械手安装在机体上部，由于机体内的腔室很大，机械手所经过的路程较长，在提起清洗篮后运行时容易偏斜，刹车不够灵活，针对上述缺点，有必要作出改进。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种结构合理、运行平稳、刹车灵活、反应快的应用于硅料清洗机上的机械手结构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

应用于硅料清洗机上的机械手结构，包括丝杆，所述丝杆下端设有机械臂，位于机械臂上安装有吊钩，所述丝杆顶部设有顶板，该顶板顶部设有水平驱动电机和上下驱动电机，所述水平驱动电机通过齿轮机构带动整个机械手活动，所述上下驱动电机带动丝杆使其上的机械臂和吊钩上下运动，位于顶板左、右底部分别设有套轨和底面带弧形槽的导向定位块，在硅料清洗机顶部设有嵌入套轨的左导轨和与导向定位块底面相嵌的右导轨。

其中，所述丝杆外套有密封罩。

本实用新型的有益效果是：通过在顶板左、右底部分别设置套轨和底面带弧形槽的导向定位块，以及在硅料清洗机顶部设有嵌入套轨的左导轨和与导向定位块底面相嵌的右导轨，当水平驱动电机带动整个机械手运行时，利用套轨和导向定位块沿左、右导轨上滑动，该结构可以保证机械手运行平稳，且刹车灵活，反应速度快，使用起来十分方便。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型安装在硅料清洗机上的结构示意图；

图2是图1中A处放大图。

具体实施方式

参照图1、图2，应用于硅料清洗机上的机械手结构，包括丝杆1，所述丝杆1下端设有机械臂11，位于机械臂11上安装有吊钩12，所述丝杆1顶部设有顶板2，该顶板2顶部设有水平驱动电机3和上下驱动电机4，所述水平驱动电机3通过齿轮机构5带动整个机械手活动，所述上下驱动电机4带动丝杆1使其上的机械臂11和吊钩12上下运动，位于顶板2左、右底部分别设有套轨6和底面带弧形槽的导向定位块7，在硅料清洗机顶部设有嵌入套轨6的左导轨8和与导向定位块7底面相嵌的右导轨9。

使用过程中，当水平驱动电机3带动整个机械手运行时，利用套轨6和导向定位块7沿左、右导轨8、9上滑动，该结构可以保证机械手运行平稳，且刹车灵活，反应速度快，使用起来十分方便。

其中，所述丝杆1外套有密封罩10，通过密封罩10可以保护丝杆1不被机体内的腐蚀气体所腐蚀，延长了产品的使用寿命。

本实用新型结构合理、运行平稳、刹车灵活、反应快，是一种广泛应用于硅料清洗机上的机械手结构。