[实用新型]磁控溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜设备，包括抽真空机组、与该抽真空机组连接的镀膜箱，其特征在于：所述磁控溅射镀膜设备还包括铰接于镀膜箱左侧的左门盖、铰接于镀膜箱右侧的右门盖，所述左门盖与所述右门盖均设有工件装夹装置，所述镀膜箱内设置有平面溅射靶。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述镀膜箱内设置有两个平面溅射靶，所述平面溅射靶设置于镀膜箱内的左右两侧。

3.根据权利要求1或2所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述左门盖与所述右门盖均设有旋转圆柱溅射靶。

4.根据权利要求1或2所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述镀膜箱整体呈半圆柱形。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述左门盖与所述右门盖均呈半圆柱形。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述工件装夹装置具有安装于所述左门盖或所述右门盖的可旋转的铰接轴。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述工件装夹装置包括固定安装于左门盖或右门盖的定齿轮和电机、通过导向支承组件安装于定齿轮上的大齿轮、设置于电机的转轴并与所述大齿轮啮合的驱动齿轮、与大齿轮平行设置的法兰、固定连接大齿轮与法兰的支撑杆、铰接于法兰与大齿轮之间的工件夹具、工件夹具铰接于大齿轮的一端设有小齿轮，该小齿轮与定齿轮啮合。

8.根据权利要求7所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述工件夹具为匚形工件夹具。

9.根据权利要求7所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述大齿轮是环形大齿轮，导向支承组件包括设置于定齿轮与大齿轮之间的滚动轴承、设置于环形大齿轮的内环面内侧限定环形大齿轮的位置的限位轴承。