[实用新型]机械传输腔体

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种机械传输腔体，尤其涉及一种用于为生产设备之间起传递产品或半产品的机械手的活动提供密封传输空间的集束传输设备。

背景技术

在半导体行业、电子工业及机械领域的加工集群设备中，产品与半成品之间的传输也是很重要的一部分。因为它关系到提高产品的质量及合格率的重要因素之一，也是降低企业生产成本重要因素之一。因此，在企业用地的成本日益增加的今天，企业越来越重视传输设备的空间利用率，减少企业对土地的使用量，以降低企业生产产品的成本，从而提高企业在市场中竞争力。但是，市场上的传输设备普遍存在以下的缺点：

目前，在传输系统中，传输设备一般都是单对单对的工作模式，都是通过一个工序对应一个传输设备进行产品的传输。与传统的传输系统相对应，传统的传输腔体一般都是一个传输腔体对应两个生产设备，即在传品传输时，只能通过传输腔体将从一个生产设备出来的产品通过传输设备在传输腔体内传输给另一个生产设备。因而，在产品流水线的生产过程中，为了能满足产品的流水线生产要求，尤其是满足生产工序种类繁多的半导体产品的生产要求，需要许多传输腔体和传输设备去负责完成各工序的生产设备之间的产品传输以实现流水线生产作业目的。这一方面由于半导体行业较多的工序步骤，需要大量的传输腔过渡腔和传输设备去执行产品和半产品的传输，增加了制造和使用传输腔体和传输设备的成本；另一方面使得传输设备占用了大量的土地资源，增加了土地的使用成本，从而增加了企业产品的生产成本以及降低企业在市场上竞争力。另，由于传输腔体是针对某一半导体产品的流水线作业要求而涉及制定的，当该半导体产品更新换代后，应用于该半导体产品上的大多数传输腔体不能适用新的半导体产品的传输要求，从而使得传输设备的兼容性差。

因此，急需要一种结构紧凑、内部空间利用率高、与多台生产设备相连的、兼容性强的传输腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构紧凑、内部空间利用率高、且能与多台生产设备相连兼容性好、有效缩小整个生产线的占地面积的用于为生产设备之间起传递产品或半产品的机械手的活动提供密封传输空间的传输设备。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为：一种机械传输腔体，用于为生产设备之间起传递产品或半产品的机械手的活动提供密封空间，所述机械传输腔体包括腔体顶盖、腔体主体、支撑环及多个侧部法兰，所述腔体主体呈中空结构，所述中空结构形成机械手活动腔，所述腔体主体上端开设有腔体开口，所述腔体主体下端开设有机械手伸入口，所述支撑环安装于所述机械手伸入口内，所述机械手密封穿过所述支撑环并伸入所述机械手活动腔，所述腔体顶盖枢接于所述腔体主体上且密封所述腔体开口，所述侧部法兰呈平板状且具有连接通道，所述连接通道贯穿所述侧部法兰，所述侧部法兰安装于所述腔体主体的侧壁上，且所述连接通道与所述机械手活动腔连通.

较佳地，所述腔体主体包括上封头、具有所述腔体开口的顶部法兰、下封头、具有所述机械手伸入口的底部法兰及腔体侧部，所述上封头套设于所述腔体侧部上端的内壁上，所述顶部法兰套设于所述上封头的内侧；所述下封头套设于所述腔体侧部下端的内壁上，所述底部法兰套设于所述下封头的内侧；所述侧部法兰安装于所述腔体侧部的侧壁上。这样，使得所述机械传输腔体密封性能更好。

较佳地，所述侧部法兰均匀分布于所述腔体主体的侧壁上。其中，与所述侧部法兰相连的生产设备也以所述腔体为中心安装在腔体四周，使得整个生产线上的设备结构紧凑、规律。

较佳地，所述侧部法兰上还具有连接导管，所述连接导管一端与所述侧部法兰的连接通道连通，另一端与所述腔体主体的侧壁连接且与所述机械手活动腔连通。所述连接导管使得侧部法兰突出的安装于所述腔体的侧壁上，这样使得侧部法兰方便的连接在生产设备上，并使成品和半成品方便的穿过所述侧部法兰的连接通道传输到生产设备上。

较佳地，所述侧部法兰上还设有闸门装置，所述闸门装置包括闸门、闸门驱动机构及传感器，所述传感器安装于所述腔体主体上并与所述闸门驱动机构电连接，所述闸门安装于所述侧部法兰的连接通道内，所述传感器控制所述驱动机构对所述闸门进行开启或关闭。工作时，所述侧部法兰与所述生产设备相连且所述连接通道与所述生产设备相连通，当被传输的产品或半产品需要传输到某一生产设备时，机械手将产品或半产品传输到相应的连接通道，所述传感器感应到被传输产品或半产品，从而控制所述闸门驱动机构对所述闸门打开，产品或半产品穿过该连接通道到达与之相连的生产设备。