[实用新型]具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种半导体晶圆检测机台，特别是一种具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统。

背景技术

替代性能源的开发正是大势所趋，将太阳的光能转换为电能输出的太阳能板随之日趋普及，检测的项目除基本的光电转换效率等实质性能外，买方更因美观因素而要求整批货品的配色需一致等条件。使得分类等工作的挑战益增，因此，如何提升检测输出及分类的效率，即成为自动化检测机台力求百尺竿头、更进一步的重点。

组成太阳能板主要的部件为太阳能硅晶圆，如图1所示，图中左侧呈现太阳能硅晶圆1的受光面，以下称为第一面12、右侧呈现者为太阳能硅晶圆1翻转180度的非受光面，以下称为第二面14。为将光电流导出，太阳能硅晶圆1的第一面12与第二面14分别布设有电极122、142；因此，太阳能硅晶圆1的两面均需受到检验。

请参照图2，例释一台申请人所采用，依序进行检测与分类的太阳能晶圆检测机台2，其运作方式先由一枢转汲取器71将晶圆取出，经光学影像撷取器72检测晶圆设有电极的第二面后，再枢转一个预定角度(例如90度)将晶圆放置于设计在对应光学影像撷取器72该预定角度的传送装置21上、由传送装置21输送至其它例如颜色检测装置92、厚度检测装置93等，以检测晶圆的部分特性，再由分类系统的汲取装置22从传送装置21上汲取检测完毕的晶圆，并依检测结果分门别类的放置到不同的承载装置8内。当各个承载装置8内的晶圆达到一个预定数量，即会停机并由工作人员取下该承载装置8并置换一个空的承载装置8。

然而，当分类完成的太阳能晶圆需取出以进行包装时，将被迫全机暂停，无论前端检测效率有多高，都势必配合暂停，尤其每一色阶的数目不一，可能才停机取出置放深蓝色晶圆类别的承载装置，重新运作不多久，又面临紫色晶圆爆满而需停机。目前业者认同此种状况为不得已的时间损耗，但对分秒必争的电子产业而言，实属不必要的产能延宕与时间浪费。

更进一步检视可发现，实际分类时，最常被检定合格的类别竟然大致符合80/20法则。亦即，依照电气性能与色泽等因素，最常被检定归类为合格的头几类晶圆占据极大的百分比例，即最频繁出现的两、三种分类，通常占所有晶圆的六、七成以上，而较冷门的多数晶圆类别则仅占总体的极少量。尤其以习知的方式逐一检测后才加以分类，并且对所有分类的类别一视同仁，将需因为特别频繁出现的某几类经常满载，必须时常停机取出其承载装置，并补充空的承载装置，难免消耗不必要的检测资源、且延缓系统检测效率。

因此，若能提供一种可搭配检测系统或机台，可随分类需求进行模块化扩充、针对特殊需求再次分类并不节省检测资源、且不需时常停机、并衔接现有检测机台的应用架构，应为最佳解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的，在提高晶圆检测速度，致使大部分的太阳能晶圆在初检后符合本次检验标准者快速通过，并进程至另一检测或收纳步骤，无须太多停滞时间等待不合格或特殊晶圆由传送装置取下，提高分类效率。

本实用新型的另一目的，是提供一种自动化、可模块化衔接于现有检测机台的分类系统。

因此，本实用新型的具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统，是供以复数合格晶圆承载装置承载初检合格太阳能晶圆，并以复数未合格晶圆承载装置承载初检未合格太阳能晶圆，包含：一个形成有复数承载位置、供置放未合格晶圆承载装置而承接该传送汲取装置释放的未合格太阳能晶圆的基座；一组设置于该基座、供沿一个传送方向传送所述太阳能晶圆，并沿一个与该传送方向呈夹角的汲取方向汲取初检未合格的太阳能晶圆，且具有一个合格晶圆输出位置的传送汲取装置；一组供沿一个与该传送方向呈夹角排列及移动上述复数合格晶圆承载装置，且分别形成有一个合格晶圆承载装置供应位置、一个合格晶圆收纳位置、及一个满载的合格晶圆承载装置移出位置的供应收纳装置；及一组在对应该初检合格晶圆输出位置、及对应该合格晶圆收纳位置间枢转，并由该初检合格晶圆输出位置将所述初检合格太阳能晶圆吸附搬移至该合格晶圆收纳位置的合格晶圆承载装置中的枢转分流装置。

经由上述装置结构，本实用新型所揭露的分类系统可于检测系统完验一般必要的检测项目(例如刮痕、水痕、白点、断线、脏污、对位偏移及电气性能等)后，淘汰不符合初检规格的晶圆、针对留存的晶圆做特殊检测、再次分类，并于取出分类完毕的太阳能晶圆时不需停机，将可使太阳能晶圆的分类检测速度提升并避免不必要的检测资源浪费而节省成本。

附图说明

图1是太阳能晶圆第一面与第二面的示意图；

图2是已知的太阳能晶圆检测机台；

图3是本实用新型第一较佳实施例的侧视图；