[实用新型]机床静压导轨直线电机进给装置

权利要求书

1、一种机床静压导轨直线电机进给装置，包括上垫板(7)和下垫板(1)，其特征在于：所述的上垫板(7)和下垫板(1)之间采用静压导轨滑动，在所述的两根圆柱静压导轨之间的下垫板(1)上安装有直线电机初级线圈(3)，在所述的上垫板(7)上安装有与所述的直线电机初级线圈(3)对应的直线电机次级线圈(4)，或在所述的两根圆柱静压导轨之间的下垫板(1)上安装有直线电机次级线圈(4)，在所述的上垫板(7)上安装有与所述的直线电机次级线圈(4)对应的直线电机初级线圈(3)，所述的上垫板(7)和下垫板(1)之间采用光栅扫描单元(8)、光栅刻度尺(9)和电感式传感器(10)进行精密进给和定位控制。

2、根据权利要求1所述的机床静压导轨直线电机进给装置，其特征在于：所述的静压导轨是在所述的下垫板(1)上安装有4个静压导轨支承座(2)，在所述的4个静压导轨支承座(2)上安装有2根圆柱静压导轨(5)，在所述的圆柱静压导轨(5)上安装有4个静压轴承(6)，所述的静压轴承(6)通过与它联接的轴承座与所述的上垫板(7)联接。

3、根据权利要求1所述的机床静压导轨直线电机进给装置，其特征在于：所述的静压导轨是矩形、平面形和/或“V”形。

4、根据权利要求1、2或3所述的机床静压导轨直线电机进给装置，其特征在于：所述的光栅扫描单元(8)安装在所述的上垫板(7)上，所述的光栅刻度尺(9)和电感式传感器(10)安装在所述的下垫板(1)上。