[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 200920068241.4 | 申请日: | 2009-02-26 |
公开(公告)号: | CN201374326Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 魏亚涛;王晨光 | 申请(专利权)人: | 上海晶澳太阳能光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L31/18;H01L21/22;H01L21/324 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人: | 李海波 |
地址: | 200436*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅太阳能电池制造工段扩散炉的附属夹具,具体是指一种用来固定硅太阳能电池片半成品到扩散炉中进行高温扩散和氧化用的石英舟。
背景技术
石英舟是一种在扩散炉中用来固定硅太阳能电池片半成品的夹具,其外形尺寸要求与其配套使用的扩散炉相适配,由于硅片具有易碎性,因此要保证硅片在装载过程及后续的高温扩散和氧化过程中保持完整,不受损坏。
目前国内厂家采用的石英舟多是采用多个侧支杠的石英舟结构,操作工在向石英舟中装硅片时,要多个接触点同时接触到硅片,通过多个接触点将硅片定位在石英舟内,硅片在装片过程中,当出现硅片和多个接触点的平行度出现误差过大情况时,卡硅片的槽子就会把硅片损坏,而且由于操作工在向石英舟中装硅片要经过多个接触点,所以在装硅片的过程中要小心翼翼减速操作,增加了装硅片的用时。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种石英舟,该石英舟可有效降低硅片在装舟过程中出现的碎片率高、装舟用时长等问题,显著提高工作效率。
本实用新型的上述目的通过如下技术方案来实现的:一种石英舟,包括支撑框架和支杠组件,其特征在于:所述的支杠组件由安装在支撑框架上的一对上支杠和一对下支杠组成,所述的一对上支杠由对称设置的左上支杠和右上支杠组成,所述的一对下支杠由对称设置的左下支杠和右下支杠组成,所述一对上支杠所在的平面与一对下支杠所在的平面相平行,所述石英舟还具有硅片安装定位机构,硅片承托在所述安装定位机构上。
所述的安装定位机构由设置在所述一对上支杠上的多个棱形凸块和设置在所述下支杠上的多个凹槽组成,所述的多个棱形凸块沿上支杠轴向均匀设置,所述的多个凹槽沿下支杠轴向均匀设置。
所述的多个棱形凸块中,相邻的棱形凸块之间具有0.5~0.6mm的间隙α,凸块之间的间隙均大于硅片的厚度值,便于安装时调节硅片。
所述的多个凹槽均为U型槽,凹槽的槽宽W为0.5mm,一般要求槽宽W和硅片的厚度相适配,略大于硅片的厚度即可。
与现有技术相比,本实用新型的石英舟采用四点定位结构,减少石英舟内部对硅片的固定点,本实用新型既能达到稳定装载硅片的技术要求,又可大大缩短装舟时间,克服了现有技术中的石英舟在装舟过程中碎片率高和用时过长的缺点,提高工作效率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明。
图1是本实用新型石英舟的整体结构示意图;
图2是图1中的A向放大图;
图3是图1中的B向放大图。
具体实施方式
如图1至图3所示的一种石英舟,包括支撑框架5和支杠组件,支杠组件由安装在支撑框架5上的一对上支杠和一对下支杠共四根支杠组成,该对上支杠由对称设置的左上支杠2和右上支杠3组成,该对下支杠由对称设置的左下支杠1和右下支杠4组成,该对上支杠所在的平面与该对下支杠所在的平面相平行。
石英舟还具有硅片安装定位机构,硅片承托在安装定位机构上,该安装定位机构由设置在该对上支杠上的多个棱形凸块6和设置在下支杠上的多个U型凹槽7组成,凹槽7的槽宽W为0.5mm,一般要求槽宽W和硅片的厚度相适配,略大于硅片的厚度即可,多个棱形凸块6沿上支杠轴向均匀设置,多个U型凹槽7沿下支杠轴向均匀设置,多个棱形凸块6中,相邻的棱形凸块之间具有0.6mm的间隙α,这里的间隙α指的是相邻棱形凸块间的最窄间隙,棱形凸块前端呈开口状结构的间隙大于间隙α,整个棱形凸块结构单元中,凸块之间的间隙均大于硅片的厚度值,便于安装时调节硅片。
本实用新型在工作时,硅片安装在四个支杠上的对应的棱形凸块之间的间隙和对应的凹槽内,固定硅片的支点为四点定位,在向石英舟中装硅片时,只要顺利的通过棱形凸块之间的间隙α就可以了,即使硅片没有和棱形凸块之间的间隙及对应的凹槽所在的平面平行,硅片落下时没有落在对应的凹槽内时,由于棱形凸块之间的间隙比硅片宽,不会因为硅片与对应的凹槽不平行而卡坏硅片,此时还可以重新调整硅片,使其下部插装在到对应的凹槽内,既保证硅片可顺利装载在石英舟中,又可缩短装载时间。
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