[实用新型]高频电感耦合等离子枪的冷却装置无效
申请号: | 200920068341.7 | 申请日: | 2009-03-03 |
公开(公告)号: | CN201621995U | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 简临君;刘海波 | 申请(专利权)人: | 简临君;刘海波 |
主分类号: | F28D15/00 | 分类号: | F28D15/00;F28D7/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200072 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高频 电感 耦合 等离子 冷却 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种高频电感耦合等离子枪的冷却装置,其特征是:高频线圈的铜管环绕在氮化硅陶瓷管上,高频线圈的铜管的出入口位于整个装置的侧面,高温陶瓷外壁套装在铜管环绕的氮化硅陶瓷管的外面,形成放置高频线圈的铜管的环形空间室。
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