[实用新型]高架地板

说明书

技术领域

本实用新型实用新型涉及一种高架地板(raised floor)，尤其涉及一种装设在无尘室的高架地板。

背景技术

随着科技的进步，在高制造质量的需求下，无尘室(clean room)的要求标准越来越高。无尘室更是半导体制造业不可或缺的重要设施，且与产品的质量、可靠性及良率息息相关。

承上所述，目前乱流型侧回风式无尘室的地板多是先在自平水泥地板涂布一层具防水功能的环氧(epoxy)材料层，若有自动行走车(AGV)行走的需求则再于环氧材料层上铺设厚度较厚的铁板，并通过螺丝将铁板螺接于无尘室地面。其中，随着半导体制程越来越精密，半导体设备也随之精密化、自动化而有大型化的趋势，无尘室地板的负荷重量大幅提升。以面板厂的自动行走车为例，大型面板厂之自动行走车重约3.2吨以上，自动行走车在铁板上之运行容易对铁板造成挤压，造成铁板凹陷。因此，面板厂常需更换铁板，以保持无尘室地板的平整度。

然而，在更换铁板时，也需连带地移除涂布于地板的环氧材料层，此移除作业会产生大量粉尘，并会对无尘室造成污染，且此移除作业需较长的施工时间。如此，不仅影响无尘室之作业环境，也影响到无尘室的生产效率。另一方面，由于铁板与环氧材料层有不同的材料特性，铁板与环氧材料层的组装精度不佳，且铁板与环氧材料层的接触面容易有间隙存在，更容易导致无尘室地板在自动行走车运行之后产生平整度不佳的情况。

实用新型内容

本实用新型提供一种高架地板，其有较佳的组装精度。

本实用新型提供一种高架地板，其后续维护时有较佳的扩充性、较低之施工成本及较短之施工时间。

本实用新型提出一种高架地板，其适于装设在无尘室，此高架地板包括多个适于架设于无尘室地面的地板支撑架、一第一支撑板件及一第二支撑板件。其中，第一支撑板件配置于这些地板支撑架上，以与地面距离一预定高度。第二支撑板件则配置于第一支撑板件上，且第二支撑板件的厚度小于第一支撑板件的厚度。

在本实用新型的一实施例中，每一个地板支撑架包括一支撑部与一承载部，支撑部固定于无尘室地面，而第一支撑板件固定于承载部。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括至少一调整垫片，配置于每一个地板支撑架与无尘室地面之间。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括多个第一固定螺栓，螺接于地板支撑架与无尘室地面之间。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括多个第二固定螺栓，螺接于第一支撑板件与第二支撑板件之间。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括多个第三固定螺栓，螺接于第一支撑板件、第二支撑板件以及地板支撑架之间。

在本实用新型的一实施例中，第一支撑板件的材质为钢。

在本实用新型的一实施例中，第二支撑板件的材质为不锈钢。

基于上述，本实用新型是在地板支撑架上铺设一第一支撑板件以及一厚度小于该第一支撑板件厚度的第二支撑板件。其中，由于第一支撑板件与第二支撑板件的材质相同，因此第一支撑板件与第二支撑板件间有良好的接触关系，进而使得本实用新型的高架地板有较佳的平整性。此外，在进行无尘室地板之后续维护工程时，仅需更换厚度较薄的第二支撑板件。如此，能有效地缩短施工时间，且不易造成大量的粉尘污染。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的高架地板的示意图；

图2为本实用新型另一实施例的高架地板的示意图。

具体实施方式

由于无尘室内之机台有大型化的趋势，因此本实用新型提出一种高架地板，其可提供较高的承载力、稳定性以及后续维护的扩充性以满足无尘室的需求。

图1为本实用新型一实施例的高架地板的示意图。请参考图1，本实施例的高架地板100适于装设在乱流型侧回风式无尘室。高架地板100主要包括多个适于架设于无尘室地面G的地板支撑架110、一第一支撑板件120及一第二支撑板件130。其中，地板支撑架110、第一支撑板件120及第二支撑板件130的材质例如是钢或是其他硬度较高的刚性材质。此外，每一个地板支撑架110例如是由一承载部112与一支撑部114所组成，支撑部114是固定于无尘室地面G，第一支撑板件120则是固定于承载部112，而第二支撑板件130则是配置于第一支撑板件120上。