[实用新型]真空镀铝设备中蒸发器挡板防变形装置有效
申请号: | 200920072297.7 | 申请日: | 2009-05-15 |
公开(公告)号: | CN201406464Y | 公开(公告)日: | 2010-02-17 |
发明(设计)人: | 洪晓冬;刘伟成;罗萍 | 申请(专利权)人: | 上海永超真空镀铝有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 胡美强 |
地址: | 201706上海市青*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 镀铝 设备 蒸发器 挡板 变形 装置 | ||
【权利要求书】:
1、一种真空镀铝设备中蒸发器挡板防变形装置,包括:本体;在所述的本体上包括转轴;其特征在于:在所述的转轴上、下分别安置3对以上对称的与在转轴上的进水口相连的水循环系统管路。
2、根据权利要求1所述的真空镀铝设备中蒸发器挡板防变形装置,其特征在于:所述的3对以上对称的水循环系统管路为上、下各3个。
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