[实用新型]选择性电镀工艺槽装置

权利要求书

1.选择性电镀工艺槽装置，包括电镀液槽，电镀液槽内设置有阳极，其特征在于，还包括挂钩支撑框和两组以上的挂钩，所述的挂钩安装在挂钩支撑框上，两组以上的挂钩沿与电镀液液面平行的方向排列，还包括有可接住从电镀液槽溢流出的电镀液的储液槽。

2.根据权利要求1所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，电镀液槽与储液槽通过导管联通，所述导管上安装有输送泵。

3.根据权利要求1所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的电镀液槽位于储液槽上方或储液槽内。

4.根据权利要求3或4所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的电镀液槽内具有进液口，电镀液槽内具有扩散膜，扩散膜位于进液口上方。

5.根据权利要求2所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的导管上安装有过滤器。

6.根据权利要求2所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的储液槽内设置有去泡膜。

7.根据权利要求2所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的导管上安装有一个或多个阀门。

8.根据权利要求2所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的导管安装有旁通管，旁通管联通导管和储液槽，所述的旁通管上安装有旁通阀。

9.根据权利要求1所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，每组挂钩数目为两个或两个以上，两个或两个以上的挂钩直线排列。

10.根据权利要求1所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述挂钩支撑框包括两个以上平行的边框和至少一个横梁，两个以上边框通过横梁连接为一体，挂钩安装在边框上，每两个以上挂钩为一组，分别位于两个以上边框上，所述的挂钩数目为两组以上，两组以上的挂钩沿与电镀液液面平行的方向排列，横梁或边框架在电镀液槽的槽壁上。

11.根据权利要求1所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，还包括可调整液面与挂钩之间距离的调节装置。

12.根据权利要求11所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的调节装置为设置在电镀液槽壁上的溢流槽或溢流孔。

13.根据权利要求1所述的选择性电镀工艺槽装置，其特征在于，所述的阳极为阳极网。