[实用新型]一种用于真空设备的样品交接传递装置

说明书

技术领域

本实用新型属于机械工程领域，尤其涉及一种用于真空设备的样品交接传递装置。

背景技术

磁力传递交接样品机构作为真空设备的主要部件，如图1a、图1b所示，包括，前、后支撑板10、20，前支撑板10下部设一连接法兰30；外套40，其一端设置于前支撑板10下部的连接法兰30，另一端连接于后支撑板20，外套40为磁性杆；内杆50，设置于外套40内，其一端设有一个伸入真空设备真空室夹持样品的样品夹持手60，内杆为磁性杆；光杠70，设置于前、后支撑板10、20，与外套40平行；滑套80，套设连接于外套40；定位板90，其一端连接所述的滑套80。

采用磁力传递机械力和扭矩，实现主动轮(滑套80)带动从动轮(固定在磁力传递内杆50上)作轴向移动和周向旋转，从而完成了传递动作的目的。此种结构实现了滑套80和磁力传递内杆50在非接触状态下完成动作传递，即轴向移动和周向旋转，巧妙解决了直接连接驱动时的密封问题。因此理论上具有传动效率高、因无摩擦而能量损失小、零件之间不会产生硬性冲击、运动过程中不会产生粉尘和噪音等优点。

但是装配到真空设备上实际使用效果却差强人意，主要表现为以下缺点：

1、对于单纯的磁力交接结构来讲，其基本原理是依靠非接触式的磁力来实现动作传递，只配有简单的光杆70作轴向移动(X方向)的导向基础和对整个磁力传递装置起到固定支撑作用，再没有任何的仪表或刻度显示动作执行的程度，势必造成磁力传递内杆轴向移动(X方向)的动作精度难于控制。当出现轴向偏差时，必须根据经验或通过设备的观察窗观察来进行调节并需反复尝试。因此，此种导向定位结构根本无法保证X方向上的精确定位，并且费时费力，也就不易实现试样的快速准确交接；

2、对于单纯的磁力交接结构来讲，磁力主动轮(滑套80)是通过固定在磁力传递内杆50外套40上的定位板90与导向光杆70的非连接接触，并且无法定量显示定位板90偏离导向光杆70的角度(θ方向)，即无法精确控制和显示周向旋转(θ方向)的程度。当出现周向偏差时，必须根据经验和观察调节并需反复尝试，才能通过转动定位板90调节周向偏差。因为二者之间需要有两维的相互运动，原结构才采用非连接接触，从而无法保证精确的θ方向的导向作用，也就不易实现试样的快速准确交接；

3、对于单纯的磁力交接结构来讲，滑套80与磁力传递内杆外套40之间也是滑动摩擦，也增加了磁力传递交接的阻力，不仅加大了试样交接的操作难度，还加剧了二者的磨损；

4、对于单纯的磁力交接结构来讲，仅靠单纯的磁力交接结构，完成真正真空状态下的样品交接时，即使经验丰富的操作者，也难确保一次交接就能成功实现，还要凭经验和感觉反复尝试；

5、对于单纯的磁力交接结构来讲，完全依靠人力驱动进行试样交接，即使是在短距离内交接试样，也经常需要两位操作手配合才能实现有效操作，浪费了人力，不利于降低人工成本。

发明内容

本实用新型的目的是设计一种用于真空设备的样品交接传递装置，解决配备在真空设备上的单纯磁力传递机构无法精确调节和控制的难题，从而保证实现试样的快速准确交接，改进后不仅能有效降低磁力传递内杆及其外套的磨损，还能大幅降低人工成本，更能提高工作效率。

本实用新型的技术方案是，

一种用于真空设备的样品交接传递装置，包括，前、后支撑板，前支撑板下部设一连接法兰；外套杆，其一端设置于前支撑板下部的连接法兰，另一端连接于后支撑板，外套杆为磁性杆；内杆，设置于外套杆内，其一端设有一个伸入真空设备真空室夹持样品的样品夹持手，内杆为磁性杆；其特征是，还包括，丝杠，设置于前、后支撑板，与外套杆平行，丝杠上套设一个与丝杠螺纹配合的连接套，丝杠的外侧端设一可使丝杠旋转的驱动装置；标尺杆，设置于前、后支撑板，与丝杠平行；滑套，套设连接于外套杆；定位板，其一端连接所述的滑套，另一端与连接套连接，定位板与连接套之间还设角度调节装置。

进一步，所述的驱动装置为电机或手柄。

又，本实用新型所述的角度调节装置包括调节螺栓及弹簧，分别连接定位板与连接套。也不局限于以螺栓及弹簧组成的上述角度调节装置，此处仅举此例加以说明。

另外，所述的定位板上设一指针，并对应标尺杆。

本实用新型所述的滑套内沿圆周面设有若干轴承，外套杆与轴承接触。

本实用新型通过添加手动或机械驱动装置来改进磁力传递的精度，从而保证磁力传递内杆在固定于磁力传递内杆外套上的导向板的带动下所作的轴向移动(X方向)和周向旋转(θ方向)的精确控制。