[实用新型]一种硅单晶炉晶棒托架有效
| 申请号： | 200920073066.8 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN201406481Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 汤旋 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吕 伴 |
| 地址： | 200444上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅单晶炉晶棒 托架 | ||
【权利要求书】：
1、一种硅单晶炉晶棒托架，包括一个L形托架，该L形托架包括一个固定在单晶炉上炉体上的托架固定导柱和托架板，其特征在于，所述托架板活动安装在所述托架固定导柱的底端。
2、如权利要求1所述的硅单晶炉晶棒托架，其特征在于，所述托架板铰接于所述托架固定导柱的底端。
3、如权利要求2所述的硅单晶炉晶棒托架，其特征在于，所述托架板通过一拉臂与所述托架固定导柱连接，所述拉臂由第一拉臂和第二拉臂构成，所述第一拉臂的一端铰接于所述托架固定导柱上，第一拉臂的另一端与第二拉臂的一端铰接，第二拉臂的另一端与托架板铰接。
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