[实用新型]一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备

权利要求书

1.一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备，包括一可对所述制备设备进行控制的主机机柜、一设置在主机机柜上的近空间升华炉及一磁控溅射仪；其特征在于：

所述磁控溅射仪顶部设有旋转加热样品台，所述近空间升华炉下方设有红外加热器，上方设有升降加热样品台，所述近空间升华炉与磁控溅射仪通过插板阀连接，一磁力机械手贯穿于近空间升华炉与磁控溅射仪中。

2.按照权利要求1所述的流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备，其特征在于：

所述磁控溅射仪下方设有可升降的磁控溅射靶。

3.按照权利要求1所述的流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备，其特征在于：

所述红外加热器为红外卤素灯，所述红外加热器外面套设有水冷屏蔽装置。

4.根据权利要求1所述的流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备，其特征在于：

所述近空间升华炉内设置有升华源，所述升华源上方设有能保证镀膜可控性的磁力耦合挡板。