[实用新型]气流导向装置及高低温提供系统有效
| 申请号： | 200920075287.9 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN201438195U | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 李刚;郑鹏飞;谢君强;潘军花 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气流 导向 装置 低温 提供 系统 | ||
1.一种气流导向装置，所述气流导向装置的顶端为开口，其特征在于，所述气流导向装置的底端封闭，侧壁设置有气流出口。
2.如权利要求1所述的气流导向装置，其特征在于，所述气流出口为多个。
3.如权利要求2所述的气流导向装置，其特征在于，所述气流出口分布于所述气流导向装置侧壁的四周。
4.如权利要求3所述的气流导向装置，其特征在于，所述多个气流出口均匀分布于所述气流导向装置侧壁上。
5.如权利要求1所述的气流导向装置，其特征在于，所述气流导向装置为柱状。
6.如权利要求1所述的气流导向装置，其特征在于，所述气流导向装置为椭球状。
7.如权利要求1所述的气流导向装置，其特征在于，所述气流导向装置为长方体状。
8.如权利要求5-7中任一权利要求所述的气流导向装置，其特征在于，所述气流出口为圆形。
9.如权利要求2所述的气流导向装置，其特征在于，所述多个气流出口的面积之和等于或大于所述气流导向装置的底端面积。
10.包括权利要求1-9中任一权利要求的气流导向装置的高低温提供系统，还包括控制系统、测试头、耐温罩、喷嘴以及气流导向装置，所述控制系统与所述测试头连接，所述测试头的底端连接所述喷嘴，所述喷嘴连接所述气流导向装置，所述耐温罩为密闭的罩体，固定于所述测试头的底端，所述喷嘴和所述气流导向装置置于所述耐温罩内。
11.如权利要求10所述的高低温提供系统，其特征在于，所述耐温罩的材料为玻璃。
12.如权利要求10所述的高低温提供系统，其特征在于，所述耐温罩形状为柱状。
13.如权利要求10所述的高低温提供系统，其特征在于，所述喷嘴底面面积大于所述气流导向装置的顶面面积。
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