[实用新型]紧固工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种紧固工具。

背景技术

在集成电路制造领域，快速热处理(Rapid Thermal Process，RTP)系统可用于进行退火工艺。在快速热处理过程中，通过在受控的环境中快速加热晶圆达到最大温度，之后将该最大温度保持一定的时间，然后，将所述晶圆冷却到室温，可以使错位的原子获得能量后复位，来修复晶格损伤。

具体请参考图1，其为快速热处理系统的截面图，如图所示，用于进行快速热处理工艺的快速热处理系统100包括一腔体(未图示)，在所述腔体内设置有加热部件(未图示)，所述加热部件用于加热晶圆110，所述加热部件可以是卤素灯或紫外灯等，所述腔体内还设置有反射板(Reflector Plate)120，所述反射板120具有面对晶圆110的光学反射面，以增加晶圆110的反射率。

随着半导体工业的发展，对快速热处理工艺的温度均匀性的要求也越来越高。因此，快速热处理系统100还包括多个探针(Probe)，以探测晶圆110的不同半径部分的温度或其它热特性，其中，所述探针包括水晶头131以及包覆所述水晶头131的外壳132，所述外壳132的一端设置有螺纹和六角螺栓133，具体的说，反射板120上具有多个通孔，所述探针插入反射板120中的通孔中，并且通过外壳132上的螺纹与腔室底板(chamber bottom)140螺纹连接，以固定所述探针，并确保快速热处理系统100的腔体的密封性，所述探针的另一端则通过光纤150与控制器160连接，所述控制器160可以进行闭环控制来调节所述加热部件的功率。

在快速热处理系统100中，探针是至关重要的，因此，需要定期对探针进行维护，清洗所述探针表面的污染物或更换新的探针，以确保可以准确的测量晶圆110表面的温度。在维护所述探针的过程中，首先需要将光纤150移走，并将紧固工具套在六角螺栓133上，其中所述紧固工具可以是扳手，然后转动所述扳手进而将探针从腔室底板140上卸载下来，以便于更换或清洗。然而，由于腔室底板140下方的空间较小，传统的扳手体积又较大，在使用过程中经常碰触到快速热处理系统100的其它部件，给装卸探针带来极大的不便，非常费力，影响了工作效率。并且，水晶头131是易损坏的材质，而传统的扳手很难控制转动的力度，因此在装卸所述探针的过程中，很容易损坏水晶头。

实用新型内容

本实用新型提供一种紧固工具，其结构紧凑，使用方便，可以快速的装卸探针，提高工作效率。

本实用新型实施例提出了一种紧固工具，包括：套筒；手柄杆，其通过一传动装置与所述套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装置带动所述套筒转动。

可选的，所述传动装置包括：壳体；转轴，设置于所述壳体内，其一端与所述套筒连接；第一齿轮，设置于所述转轴的另一端；第二齿轮，设置于所述手柄杆的一端，与所述第一齿轮啮合连接.

可选的，所述壳体为圆柱形壳体，所述壳体的上部设置有通孔，所述转轴的一端自所述通孔伸出与所述套筒连接，所述转轴与所述套筒连接的端部为四方柱，所述套筒上设置有与所述四方柱匹配的四方孔，所述壳体的侧壁设置有圆孔，所述手柄杆的另一端自所述圆孔伸出所述壳体的外部。

可选的，所述壳体与所述手柄杆成90°角，所述壳体的长度为10～15cm，所述壳体的侧壁设置有凹槽。

可选的，所述紧固工具还包括与所述手柄杆的另一端连接的手柄握把。

可选的，所述第一齿轮为锥齿轮，所述第二齿轮为锥齿轮。

与现有技术相比，本实用新型所提供的紧固工具具有以下优点：

1、本实用新型的手柄杆通过传动装置与套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装置带动所述套筒转动，可方便省力的装卸探针。

2、本实用新型通过所述传动装置可准确控制套筒转动的力度，确保不会损坏探针。

3、本实用新型结构紧凑，体积小，不受工作空间的局限，可避免在使用过程中碰触到快速热处理系统的其它部件，提高了工作效率。

附图说明

图1为快速热处理系统的截面图；

图2为本实用新型一实施例所提供的紧固工具的结构示意图；

图3为本实用新型一实施例所提供的紧固工具的截面示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的紧固工具作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。