[实用新型]卸压风门

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种卸压风门。

背景技术

半导体制造工业中，硅片工艺线的各生产区和技术区都需要使用新风空调系统使区间环境满足一定温度、湿度、洁净度和气流速度的要求，以减少区间环境对工艺的影响。

如图1所示，新风空调系统中外气调节箱MAU(Make-up Air Unit)的风机隔板2的两侧分别为正压侧和负压侧，风机1设置在负压侧，风机隔板2所能承受的总压力是有一定限度的，当风机隔板2两侧的压差过大时，就会损坏风机隔板2。现有技术中，为了防止风机隔板2两侧的压差过大而损坏风机隔板2，在风机隔板2的两侧分别装上压力传感器(图中未示)，当总压力(风机隔板2两侧的压力差)大于风机隔板2所能承受的总压力时，风机1停止工作，以平衡风机隔板2两侧的压力，但是，压力传感器的误操作或侦测气管的堵塞会导致不能及时平衡风机隔板2两侧的压力，造成风机隔板2两侧的压差过大而损坏风机隔板2。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种卸压风门，当风机隔板两侧的压力差过大时，该卸压风门打开，排出正压侧的气体，以平衡风机隔板两侧的压力，保护风机隔板。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种卸压风门安装在外气调节箱的风机隔板的负压侧，所述风机隔板上设有排气口，该卸压风门包括门板、支架和配重件，所述门板与风机隔板铰链连接，该门板可绕门板与风机隔板的铰链连接处转动，当所述卸压风门处于关闭状态时，所述门板密封封住风机隔板上的排气口，所述支架设置在门板面向负压侧的表面上，所述配重件与支架连接。

上述卸压风门，其中，所述支架包括两三角架和数根横杆；所述两三角架相互平行，所述数根横杆设置在两三角架之间，该横杆的两端分别与两三角架连接。

上述卸压风门，其中，所述配重件设置在两三角架之间。

上述卸压风门，其中，所述配重件包括承载架和设置在承载架上的数块配重块。

上述卸压风门，其中，所述承载架呈“U”字型，该承载架包括两连接板和承载板，所述两连接板分别设置在承载板的两端。

上述卸压风门，其中，所述数块配重块依次叠置在承载板上。

上述卸压风门，其中，还包括安装部件，该安装部件卡在风机隔板的排风口上，所述门板通过该安装部件实现与风机隔板的铰链连接。

上述卸压风门，其中，所述安装部件包括前安装件和后安装件；所述后安装件与前安装件连接。

上述卸压风门，其中，所述前安装件包括两安装框架以及边框；所述两安装框架相互平行，所述边框设置在两安装框架之间，且垂直于两安装框架。

上述卸压风门，其中，上述两安装框架以及边框在前安装件的周边形成“U”型凹槽。

上述卸压风门，其中，所述后安装件包括安装框架和边框，所述边框垂直设置在安装框架上。

上述卸压风门，其中，还包括两气缸，所述两气缸分别设置在支架的两侧，所述气缸的一端与支架铰链连接，其另一端铰链接在风机隔板。

本实用新型的卸压风门安装在外气调节箱的风机隔板的负压侧，当风机隔板两侧的压力不平衡时，卸压风门可自动打开，将正压侧过多的气体排入负压侧，达到平衡风机隔板两侧压力的作用，保护风机隔板；支架两侧的气缸能在卸压门打开和关闭时起缓冲作用，更有效地保护卸压门和风机隔板不受损坏；配重件的配重块的数目可根据实际情况增减，使得该卸压门的适应性强。

附图说明

本实用新型的卸压风门由以下的实施例及附图给出。

图1是现有技术中新风空调系统的外气调节箱的局部结构示意图。

图2是本实用新型卸压风门的右视图。

图3是本实用新型中安装部件的结构示意图。

图4是本实用新型中前安装件的左视图。

图5是本实用新型中支架的结构示意图。

图6是本实用新型中配重件的主视图。

图7是本实用新型卸压风门(安装有气缸)的右视图。

图8是本实用新型中支架(安装有连接板)的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合图2～图8对本实用新型的卸压风门作进一步的详细描述。

针对现有技术中压力传感器的误操作或侦测气管的堵塞会导致不能及时平衡风机隔板两侧的压力，从而损坏风机隔板，本实用新型提供一种卸压风门，该卸压风门安装在外气调节箱的风机隔板的负压侧，当风机隔板两侧的压力不平衡时，该卸压风门打开，排出正压侧的空气，以平衡风机隔板两侧的压力，保护风机隔板。