[实用新型]气体回收利用装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体回收，尤其涉及一种气体回收利用装置。

背景技术

目前，在很多行业的生产和实验领域均使用工艺气体，这些气体有些要求纯度很高，有些本身稀少，价格昂贵。工艺过程中大多是开放的，没有回收利用装置，不仅浪费气体，不经济，对能源的一种浪费。如果这些工艺气体有毒有害，还会对环境造成严重影响。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种气体回收利用装置，可以将系统中的工艺气体在线增压收集，储存利用。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：

本实用新型提供了一种气体回收利用装置，其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。

本实用新型采用的气体回收利用装置，通过对工艺气体增压后回收，最终以工艺要求的压力输出给用气点，可以节约成本，更可较少污染。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型一具体实施例的原理示意图。

图2是本实用新型一实施例的结构示意图。

附图部分符号说明：

1    无油增压泵

2    通断阀

3    压力表

4    压力检测和反馈单元

5    储气罐

6    手动阀

7    减压阀

8    气源分配器

9    管线

10   工艺腔体

11   用气点

具体实施方式

如图1所示，其为本实用新型一具体实施例的原理示意图。密封的工艺腔体(可以是手套箱箱体)内存有工艺气体，这些工艺气体通过管线进入无油增压泵(抽气)，工艺气体被增压后通过管线进入储气罐被储存。储气罐的气体压力由压力检测和反馈单元控制，符合压力要求的工艺气体最终被供应给工艺腔体内的用气点。

如图2所示，本实用新型的气体回收利用装置包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元。其中增压单元可进一步包括无油增压泵1与储气罐5，且可以在无油增压泵1与储气罐5之间安装通断阀2，更可以在无油增压泵1与储气罐5之间安装压力表3，便于测量和观察储气罐的入口压力；压力调节单元为减压阀7，更可以包括手动阀6，根据用气点11的压力要求调节储气罐5的出口压力；在实际应用中，往往会存在多个用气点11，此时，在压力调节单元与用气点11之间设置气源分配器8，其具有多个气体出口，能够满足工艺需要。

可以看出，气体回收利用装置布局为：工艺腔体10通过管线9与无油增压泵1的入口相连，无油增压泵1的出口通过管线9与断通阀2的入口相连，断通阀2的出口通过管线9与储气罐5的入口现了相连，在断通阀3与储气罐5之间的管线上安装有压力表3与压力检测和反馈单元4，储气罐5的出口通过管线9与手动阀6的入口相连，手动阀6的出口通过管线9与减压阀7的入口相连，减压阀7的出口通过管线9与用气点11相连。当用气点11为多处时，在减压阀7与用气点11之间设置一个气源分配器8，气源分配器8的各个气体出口通过管线9与工艺腔体10内的用气点11相连。其中，管线9和储气罐5都是洁净的，以保证工艺气体不被污染。

上所述的仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应为本实用新型的技术范畴。