[实用新型]用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统

权利要求书

1.一种用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统，包括可使加热的气体 化学剂和液体化学剂产生雾状化学剂的雾化器，若干个化学湿处理腔体单 元，若干个去离子水喷淋湿处理腔体单元，以及异丙醇(IPA)取干处理 腔体单元，以及将待处理材料依次送入各处理单元腔体内的传输机构，其 特征在于，该系统还包括喷雾刀，该喷雾刀具有多个雾状化学剂射口，喷 射口中间设有毛细管，所述雾状化学剂通过毛细管周边的喷射口空间呈扇 形喷射至待处理材料的表面。

2.根据权利要求1所述的用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统，其 特征在于，所述毛细管的截面直径尺寸小于1mm。

3.根据权利要求2所述的用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统，其 特征在于，由加热的化学气体和液体化学剂在雾化器内产生雾状化学剂包 括：

加热的化学气体是臭氧气体(O₃)，液体化学剂是氢氧化钠(NaOH)；

和/或，加热的化学气体是臭氧气体(O₃)，液体化学剂是氢氧化钾(KOH)；

和/或，加热的化学气体是臭氧气体(O₃)，液体化学剂是去离子水(H2O)；

和/或，加热的化学气体是氮气体(N₂)，液体化学剂是加热后低黏度的 镀膜剂；

和/或，加热的化学气体是臭氧气体(O₃)，液体化学剂是硝酸/氢氟酸 为主的混合酸(HNO₃+HF)；

和/或，加热的化学气体是臭氧气体(O₃)，液体化学剂是硫酸为主的混 合酸(H2_SO₄)。

4.根据权利要求3所述的用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统，其 特征在于，所述液体化学剂的压力范围是每平方英寸1-10英磅；气体化 学剂的压力范围是每平方英寸10-20英磅。

5.根据权利要求4所述的用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统，其 特征在于，所述雾化器与喷雾刀之间还带有使雾状化学剂保温的加热等温 装置。

6.根据权利要求1至5任一项所述的用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理 的系统，其特征在于，所述待处理材料是太阳能电池或平板显示器基片。

7.根据权利要求6所述的化学湿处理系统，其特征在于，所述传输机构包括 多组在垂直于传输方向相差1-3mm的错位滚轮，以及伺服电机和同步传 动伞齿轮，同步伞齿轮带动多组错位滚轮同步旋转。

8.根据权利要求1至5任一项所述的用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理 的系统，其特征在于，所述待处理材料是太阳能电池或平板显示器薄膜衬 底。

9.根据权利要求8所述的用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统，其 特征在于，所述传输机构包括多组且在垂直于传输方向相差1-3mm的错 位滚轮，和分别位于处理腔室的上料端和下料端的卷绕轴和张紧轮，所述 薄膜衬底置于卷绕轴上，由所述张紧轮驱动带动错位滚轮同步旋转传动， 所述张紧轮还带有可自动检测及调节张力的传感器。