[实用新型]显微镜载物台有效
申请号: | 200920077966.X | 申请日: | 2009-07-07 |
公开(公告)号: | CN201464705U | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 宋哲;季春葵;王君丽;龚伟平 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G02B21/26 | 分类号: | G02B21/26 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显微镜 载物台 | ||
技术领域
本实用新型涉及显微镜,尤其涉及一种显微镜载物台。
背景技术
当对芯片完成电性测试并确定芯片性能良好后,需要将芯片封装到一个单独的保护性封装体中。封装体除了能保护芯片外,其主要功能是通过引脚将芯片连接至电路板或基板,通常,芯片与引脚的连接是通过从芯片焊垫引线焊接至引脚而实现的。
当完成芯片与引脚的引线焊接后或者对失效产品进行检测分析时,需要将芯片放置在显微镜的载物台上,并通过显微镜检查各个引线和对应的焊垫接触是否良好,以及各个引线是否分开。现有的显微镜的载物台只能承载着芯片作水平移动或上下移动,即观察者只能看到芯片的上表面。因此,当遇到下述情况时容易引起误判:从芯片的上方来看,引线和对应的芯片焊垫是相交的,但从侧面来看引线和焊垫是分离的,并不接触(属于不合格情形),然而采用现有的显微镜容易将这种引线和焊垫相交但不相接的情况误判为合格。同样,当检查各个引线是否错误相接的时候,由于现有的显微镜只能从芯片上方观察,因此,常常把引线之间相交但不相接的情况视为相接而判断其不合格,也导致误判的产生。由此可见,采用现有的显微镜进行引线观察,其检查效率比较低,错误率比较高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种显微镜载物台,可以使被检产品做360度周转,提高产品检测的准确性。
为了达到上述的目的,本实用新型提供一种显微镜载物台,包括一基座,所述基座的一侧设有相对基座转动的第一转体,所述第一转体的上方设有相对第一转体转动的用于载物的第二转体。
在上述显微镜载物台中,所述基座的一侧设有螺孔,所述第一转体上固设一螺杆,所述螺杆旋入所述螺孔内。
在上述显微镜载物台中,所述第一转体的上方设有螺孔,所述第二转体上固设一螺杆,所述螺杆旋入所述螺孔内。
在上述显微镜载物台中,所述第一转体与第二转体相接触的表面是平面。
在上述显微镜载物台中,所述第一转体相对基座做360度旋转。
在上述显微镜载物台中,所述第二转体相对第一转体做360度旋转。
在上述显微镜载物台中,所述第一转体和第二转体的轴心线相互垂直
本实用新型的有益效果是:由于第一转体和第二转体可以分别带动被检产品做360度旋转,且两转轴(两转体的轴心线)的方向相互垂直,因此,可以实现从任意角度观测产品,避免背景技术中所提到的误判情况的发生。因而,可以提高产品检测的便利性和准确性,提高了检测效率。
附图说明
本实用新型的显微镜载物台由以下的实施例及附图给出。
图1是本实用新型显微载物台的结构示意图;
图中,1-基座,2-第一转体,3-第二转体,4-产品。
具体实施方式
以下将对本实用新型的显微镜载物台作进一步的详细描述。
请参阅图1,图1是本实用新型显微载物台的结构示意图。
这种显微镜载物台应用于景深比较大的显微镜。这种显微镜载物台:包括一基座1,所述基座1的一侧设有能相对基座1转动的第一转体2,所述第一转体2的上方设有能相对第一转体2转动的用于载物的第二转体3。
上述载物台的具体结构如下,但不局限于此:所述第一转体2与第二转体3相接触的表面是平面。所述第一转体2是一部分圆柱面切成平面的圆柱体。所述第一转体的轴心线与显微镜的观测方向相互垂直。所述第二转体3是一下底面置于所述第一转体2的平面上的圆柱体。所述基座1的一侧设有螺孔,所述第一转体2上固设一螺杆,所述螺杆与第一转体的一底面固定连接。所述螺杆旋入所述螺孔内。所述第一转体2的上方设有螺孔,所述第二转体3上固设一螺杆,该螺杆与第二转体3的下底面固定连接。所述螺杆旋入所述螺孔内。如图1所示,所述第一转体2的轴心线沿X轴方向,所述第二转体3的轴心线沿Z轴方向。且两轴心线相互垂直。放置于第二转体3上的产品4,可以随着第二转体3绕着第二转体3的轴心线做360度旋转。第二转体3及其上的产品4可以随着第一转体2绕着第一转体2的轴心线做360度旋转。通过转动该两个转体可以从不同的角度观察产品4。
本实用新型是这样工作的:
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