[实用新型]一种薄膜太阳电池生产中防止气体从管路接头泄漏装置

说明书

一.技术领域

本实用新型涉及一种薄膜太阳电池生产中防止气体从管路接头泄漏装置，特别涉及一种防止特殊气体从CGA泄露到环境中的装置，属于机械领域。

二.背景技术

目前，半导体和太阳能电池行业生产所用的危险性气体的气源大都采用由钢瓶组成的集装格(4x4)或Y瓶供给，通过在供气主管路和钢瓶之间连接BSGS(大宗特气供应系统)控制气体的流量或压力。按照行业经验，气体泄漏主要发生在经常动作的阀门或接口部位，为了防止危险性气体泄漏时扩散到环境中，BSGS系统将所有阀门都封闭在一个负压空间内，并在箱体上端负压风管处装有气体采样管，一旦检测到有气体泄漏立即发生相应的保护动作。但BSGS与集装格或Y瓶的衔接部位，暴露于外界环境中，处于完全开放的状态。钢瓶与BSGS之间大都采用CGA衔接锁紧，其主要存在以下安全隐患：1、随着操作次数的增加接头螺纹会发生变形，导致接头处密封效果下降发生危险气体泄漏。2、在用气量较大情况下，气体从高压气瓶释放冲出，会大量吸收环境热量，导致接口处温度迅速下降甚至结霜，在生产工艺对气体需求量不稳的情况下，压力和温度的变化会在接口处反复产生应力变形从而产生气体泄漏可能。3、人工操作可能存在的锁紧不当造成泄漏。为了防止上述隐患发生，用气单位常常在室内环境安装气体侦测器，在线实时监测环境内特气浓度。一旦被监测气体的浓度超过设定的安金上限，供气系统将会自动切断气柜关键阀件并触发泄漏警报。虽然这种方式从一定程度上提高了安全系数，但并没有从根本上解决问题，此外，由于半导体及太阳能电池行业所用大多数特气(如硅烷、乙硼烷等)在空气中具有不稳定性，如果侦测器采样管长度选取不合理，部分泄漏气体在与电化学探头接触之前会与空气中的氧气提前发生化学反应，这会影响侦测器监测的气体真实浓度。而供气控制系统的关闭，势必会影响工厂生产工艺的正常进行，进而又增加了设备故障成本。

三.发明内容

本实用新型为一种薄膜太阳电池生产中防止气体从管路接头泄漏装置，该装置能为管道接口提供了第二道防泄漏保障，即能降低气体泄漏风险，又能降低设备的故障成本。

本实用新型提供的一种薄膜太阳电池生产中防止气体从管路接头泄漏装置，包括马鞍形的上腔体盖和下腔体盖，在上腔体盖和下腔体盖的前后部设有管路的外套，上腔体盖和下腔体盖通过固定联接与管路接头和管路形成密封的腔体。在上腔体盖和下腔体盖之间及管路的外套和和管路之间设置有密封垫圈。所述的密封垫圈为聚四氟乙烯。

本实用新型结构简单，操作方便，CGA接头使用本装置后，C接头被包在一个密闭的空间内，这样即使CGA接头处有气体泄漏，也只能是泄漏到卡套形成密闭空间中，从而可以有效避免气体泄漏到环境中引起的设备停机或其它安全隐患，起到降低设备故障成本，提高生产安全系数效果。

四.附图说明

附图是本装置的示意图

五.具体实施方式

如附图所示，将CGA接头放入上腔体1和下腔体2组成的空间内内，各对接面之间放置四氟密封垫3，可以用四个螺栓通过孔5、6、7、8将上腔体1和下腔体2固定连接，也可以再空中形成螺纹采用螺栓连接。在上下腔体之间、腔体与气体管线之间的加上聚四氟乙烯密密封垫圈。

CGA接头使用本装置后，CGA接头被包在一个密闭的空间内，这样即使CGA接头处由于各种原因有气体泄漏，也只能是泄漏到腔体形成密闭空间中，从而达到避免气体泄漏到环境中引起的设备停机或其它安全隐患的目的。