[实用新型]多晶硅还原炉壳体气体冷却装置无效
申请号: | 200920090543.1 | 申请日: | 2009-06-01 |
公开(公告)号: | CN201433109Y | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 林亮亮;赵双喜;雷威跃;薛爱芳;李开英;赵闽 | 申请(专利权)人: | 三门峡化工机械有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 郑州科维专利代理有限公司 | 代理人: | 张欣棠;郭乃凤 |
地址: | 472000河南省三门峡市*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 壳体 气体 冷却 装置 | ||
1、一种多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,含有夹套式壳体,所述夹套式壳体的上端设置有封头,其特征是:所述夹套式壳体的夹套外壁上设置有气体分布腔,所述气体分布腔与进气管连通,被所述气体分布腔覆盖的所述夹套的外壁上设置一定数量的通气孔,所述夹套与排气管连通。
2、根据权利要求1所述的多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,其特征是:所述夹套式壳体的夹套外壁上设置有一个从上到下的纵向通道,该纵向通道的两端封闭,并且其下端与进气管连通,所述气体分布腔为多个且环形设置在所述夹套外壁上,每一所述气体分布腔均设置一个断口,并且所述断口均位于所述纵向通道内;所述夹套式壳体的上端设置有封头,所述封头下端与夹套连通,侧壁与排气管连通。
3、根据权利要求1所述的多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,其特征是:所述通气孔沿圆周均布,并且,所述通气孔的孔径为φ3mm~φ8mm。
4、根据权利要求1所述的多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,其特征是:所述气体分布腔由槽钢焊接在所述夹套外壁上而成。
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