[实用新型]一种光学镀膜机的烘烤装置

说明书

技术领域

本实用新型属于镀膜机制造技术领域，具体涉及一种光学镀膜机的烘烤装置。

背景技术

光学镀膜机的烘烤装置主要由烘烤丝构成的加热装置，在国内外现有的技术中，光学镀膜机的烘烤丝冷端设计分散，镀膜机顶部的整体布局效果差，工件表面的温度均匀性是保证镀膜质量的重要条件。随着镀膜技术的高速发展，客户对高质量薄膜的要求越来越高，高效率的工作循环对设备结构也提出了较高的要求，侧烘烤辅助加热装置为加快排气速度、提高膜层质量都有着极大的促进作用一方面制造成本较高。

发明内容：

为解决现有技术存在的上述缺陷，本实用新型目的在于提供一种结构简单，布局合理，加热效率高，工件表面的温度均匀性好，明显提高膜层质量的光学镀膜机的烘烤装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案：该光学镀膜机的烘烤装置具有设置在烘烤盘上加热丝、温度测量控制装置，其特征在于：在真空室内部侧壁安装有多组加热丝，所述几组加热丝使用一路温度测量控制装置，同一路温度测量控制装置的几组加热丝在烘烤盘上按照从中央到边缘的顺序排列，不同路温度测量控制装置的每几组加热丝，在烘烤盘上按照扇形区域分布。

所述加热丝、温度测量控制装置具有冷端，所述冷端集中设置在冷却座上。

采用上述技术方案的有益效果：该光学镀膜机的加热装置在真空室内部侧壁安装加热丝，在打开真空室门时，侧壁加热丝加热使真空室壁保持较高温度，防止水汽吸附，在真空室门关闭工件加热过程中，侧壁加热丝加热可以使工件温度均匀，避免工件上下空间温差过大，可以加快抽气速度，也可以提高膜层质量。在连接上几组加热丝使用一路温度测量控制装置，同一路温度测量控制装置的几组加热丝，在烘烤盘上按照从中央到边缘的顺序排列，不同路温度测量控制系统的每几组加热丝，在烘烤盘上按照扇形区域分布。这种连接结构，实现温度分区控制，可根据实际测量温度设定温度值。将传统的镀膜机箱体所有冷端通过一个冷却座作为载体，然后将冷端、热电偶安装孔全部开在冷端座上，结构整体冷却，在不降低冷却效果的基础上，优化结构形式，在使用过程中，集中安装，使用，有效的节约了使用空间和制造成本。

附图说明

图1为光学镀膜机的烘烤装置的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示的光学镀膜机的烘烤装置，具有设置在烘烤盘15上的加热丝16和加热丝的温度测量控制装置，温度测量控制装置由热电偶5、6来测量温度信号，在真空室内部侧壁安装有多组加热丝7、9、11、13，使真空室壁保持较高温度，防止水汽吸附，在真空室门关闭工件加热过程中，侧壁加热丝加热可以使工件温度均匀，避免工件上下空间温差过大，可以加快抽气速度，提高膜层质量。烘烤盘15上的加热丝16有多组，几组加热丝使用一路温度测量控制装置，同一路温度测量控制装置的几组加热丝在烘烤盘上按照从中央到边缘的顺序排列，不同路温度测量控制装置的每几组加热丝，在烘烤盘上按照扇形区域分布，实现温度分区控制，可根据实际测量温度设定温度值。烘烤丝具有冷端8、10、12、14，热电偶具有冷端2、3、4、17，所述冷端集中设置在冷却座1上，冷却座1上具有冷端、热电偶安装孔，在使用过程中，集中安装使用。