[实用新型]一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置有效
| 申请号： | 200920094599.4 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201534875U | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;王德宏;左腾;朱艳伟;钟福建 | 申请（专利权）人： | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L31/18;H01J37/02;H01J37/34 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 设备 中的 电池 边沿 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于：该保护装置包括靶材(1)、矩形保护环(2)、太阳能电池(3)、仓体(4)，所述的保护环(2)设置在仓体(4)内靶材(1)和太阳能电池(3)之间，保护环(2)为矩形环状的结构。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于：所述的保护环(2)中间的矩形孔(6)大小与太阳能电池(3)溅镀Al的面积相匹配，保护环(2)的环体的大小与太阳能电池的边沿(5)的面积相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于：所述的保护环(2)环体的外边缘轮廓线(7)高于内边缘轮廓线(8)，并带有一凹弧状的过度。
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