[实用新型]一种磁控溅射溅镀前的太阳能电池加热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产领域，具体的说是一种在磁控溅射设备中溅镀Al前对太阳能电池逐步加热的装置。

背景技术

在现有的太阳能电池生产过程中，磁控溅射设备对太阳能电池进行Al层溅镀的过程之前，要求保证太阳能电池达到一定的温度，以方便实现下一道工序溅镀的速度和达到溅镀的效果，所以在溅镀工序之前要对太阳能电池进行加热。

以往的加热过程为：让太阳能电池通过设置一定温度的加热炉，对太阳能电池进行加热，因为加热温度一般在50℃，所以加热炉的温度要稍大于50℃，而电池直接进入该温度的加热炉，急剧的温度变化会使电池的表面应力产生很大的变化，严重时甚至会发生碎片现象。所以需要寻找一种合适的加热装置对太阳能电池进行加热，而不会对太阳能电池造成损害。

发明内容

本实用新型的目的是要提供一种在磁控溅射设备中对太阳能电池进行溅镀前的加热装置，该装置能够对太阳能电池进行循序渐进的分级加热，不会导致电池的表面应力产生过大的变化和造成太阳能电池损害。

本实用新型的目的是这样实现的：该加热装置包括并排设置的两个加热箱、电池挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在两个加热箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨上。

所述的前面的加热箱的加热温度设置为30℃，后面的加热箱的加热温度设置为50℃。

本实用新型由于采用上述结构使得太阳能电池在磁控溅射设备中溅镀Al前能够进行循序渐进的分级加热，不会导致电池的表面应力产生过大的变化和造成太阳能电池损害。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型侧视图。

具体实施方式

由附图所示：该加热装置包括并排设置的两个加热箱1、2、电池挂片箱3、传送导轨4，所述的传送导轨4设置在两个加热箱1、2的上面，电池挂片箱3挂装在传送导轨4上。

所述的加热箱1的加热温度设置为30℃，加热箱2的加热温度设置为50℃。

工作过程描述如下：电池被装在电池挂片箱3内，电池挂片箱3沿传送导轨4运动，在进行等离子体化学气相沉积PIN层(磁控溅射溅镀Al)之前，电池温度需要达到大约50℃，所以对其进行加热，加热过程是，先通过前面的加热箱1对其进行加热，使太阳能电池升温至30℃，再通过后面的加热箱2，升温至50℃，从而达到对太阳能电池加热的目的。