[实用新型]一种磁控溅射设备的电池挂片箱有效

专利信息
申请号: 200920094603.7 申请日: 2009-10-29
公开(公告)号: CN201530857U 公开(公告)日: 2010-07-21
发明(设计)人: 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;王德宏;左腾;徐柏章;曲爽 申请(专利权)人: 吉林庆达新能源电力股份有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;H01L31/20;H01L31/18;H01J37/20;H01J37/34
代理公司: 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 代理人: 石岱
地址: 136001 *** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 磁控溅射 设备 电池 挂片箱
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种磁控溅射设备中太阳能电池片的固定挂片装置,具体的说是一种电池挂片箱。

背景技术

在非晶硅太阳能电池生产过程中,在磁控溅射设备的仓室内为太阳能电池片溅镀Al层是其中的一步工艺过程,其方法是采用运载小车将电池挂片箱运载到仓室,为了保证电池的转换效率,需要保证太阳能电池Al层溅镀的均匀性,进而需要提高电池片的稳定性,所以电池挂片箱对电池的固定就要求具有较好的稳定性。

发明内容

本实用新型的目的是要提供一种结构合理、固定电池片的稳定性好、速度速的电池挂片箱。

本实用新型的目的是这样实现的:该电池挂片箱包括挂片箱主体、固定卡头,所述的挂片箱主体带有一凹陷的电池片固定卡槽,在固定卡槽的上端和下端均布设置有多个固定卡头。

所述的固定卡头被镶嵌在挂片箱主体的上面,它是由压缩弹簧和钢珠构成。

本实用新型由于采用上述结构使得电池片在电池挂片箱内更加稳定,从而保证了太阳能电池Al层溅镀的均匀性,进而保证了电池的转换效率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型I部位局部放大结构示意图。

图3为本实用新型A向投影结构示意图。

具体实施方式

由附图所示:该电池挂片箱包括挂片箱主体1、固定卡头2,所述的挂片箱主体1带有一凹陷的电池片固定卡槽3,在固定卡槽3的上端和下端均布设置有多个固定卡头2。

所述的固定卡头2被镶嵌在挂片箱主体1的上面,它是由压缩弹簧4和钢珠5构成。

使用时,通过机械手将太阳能电池运到挂片箱前方,沿A方向把电池压进挂片箱主体1上的固定卡槽3内。电池在向内放置挤压的过程中,多个固定卡头2上的钢珠5被挤压,钢珠5压缩弹簧4,这样电池片被放到挂片箱主体1内,当放置好以后,钢珠5受到的挤压力消失,弹簧4伸长到原有长度,钢珠5弹出,则电池片被稳定的固定在挂片箱内部。

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