[实用新型]一种磁控溅射设备的电池挂片箱有效
申请号: | 200920094603.7 | 申请日: | 2009-10-29 |
公开(公告)号: | CN201530857U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;王德宏;左腾;徐柏章;曲爽 | 申请(专利权)人: | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;H01L31/20;H01L31/18;H01J37/20;H01J37/34 |
代理公司: | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱 |
地址: | 136001 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磁控溅射 设备 电池 挂片箱 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种磁控溅射设备中太阳能电池片的固定挂片装置,具体的说是一种电池挂片箱。
背景技术
在非晶硅太阳能电池生产过程中,在磁控溅射设备的仓室内为太阳能电池片溅镀Al层是其中的一步工艺过程,其方法是采用运载小车将电池挂片箱运载到仓室,为了保证电池的转换效率,需要保证太阳能电池Al层溅镀的均匀性,进而需要提高电池片的稳定性,所以电池挂片箱对电池的固定就要求具有较好的稳定性。
发明内容
本实用新型的目的是要提供一种结构合理、固定电池片的稳定性好、速度速的电池挂片箱。
本实用新型的目的是这样实现的:该电池挂片箱包括挂片箱主体、固定卡头,所述的挂片箱主体带有一凹陷的电池片固定卡槽,在固定卡槽的上端和下端均布设置有多个固定卡头。
所述的固定卡头被镶嵌在挂片箱主体的上面,它是由压缩弹簧和钢珠构成。
本实用新型由于采用上述结构使得电池片在电池挂片箱内更加稳定,从而保证了太阳能电池Al层溅镀的均匀性,进而保证了电池的转换效率。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图。
图2为本实用新型I部位局部放大结构示意图。
图3为本实用新型A向投影结构示意图。
具体实施方式
由附图所示:该电池挂片箱包括挂片箱主体1、固定卡头2,所述的挂片箱主体1带有一凹陷的电池片固定卡槽3,在固定卡槽3的上端和下端均布设置有多个固定卡头2。
所述的固定卡头2被镶嵌在挂片箱主体1的上面,它是由压缩弹簧4和钢珠5构成。
使用时,通过机械手将太阳能电池运到挂片箱前方,沿A方向把电池压进挂片箱主体1上的固定卡槽3内。电池在向内放置挤压的过程中,多个固定卡头2上的钢珠5被挤压,钢珠5压缩弹簧4,这样电池片被放到挂片箱主体1内,当放置好以后,钢珠5受到的挤压力消失,弹簧4伸长到原有长度,钢珠5弹出,则电池片被稳定的固定在挂片箱内部。
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