[实用新型]一种等离子体化学气相沉积设备后的太阳能电池冷却装置有效
申请号: | 200920094717.1 | 申请日: | 2009-11-17 |
公开(公告)号: | CN201536110U | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 杨继泽;刘万学;刘志才;崔庆春;程明辉;强艳建;李宇;魏含芳 | 申请(专利权)人: | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱 |
地址: | 136001 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 等离子体 化学 沉积 设备 太阳能电池 冷却 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种冷却装置,具体的说是一种在等离子体化学气相沉积设备中对太阳能电池逐步冷却的装置。
背景技术
在现有太阳能电池生产中,等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池进行沉积PIN层的过程中,电池的温度会很高,一般会达到180℃,沉积完成以后,太阳能电池从等离子体化学气相沉积设备出来以后,如果直接到室温的话,电池会受到骤然降温,不利于太阳能电池的应力释放,严重时会有炸片的情况发生,所以需要对从等离子体化学气相沉积设备出来的电池进行逐步降温,保证太阳能电池的性质稳定。
发明内容
本实用新型的目的是要提供一种在等离子体化学气相沉积设备中能够对太阳能电池进行逐步降温的太阳能电池冷却装置。
本实用新型的目的是这样实现的:该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱、电池挂片箱、传送导轨,所述的传送导轨设置在三个冷却箱的上面,电池挂片箱挂装在传送导轨上。
所述的前面的冷却箱的温度设置为150℃,中间的冷却箱的温度设置为90℃,后面的冷却箱的温度设置为30℃。
所述的传送导轨贯穿于三个冷却箱,并在冷却箱以后延伸出一段置于室温下,即直接在室温下对太阳能电池进行冷却。
本实用新型由于采用上述结构,能够对太阳能电池在等离子体化学气相沉积工序后逐步冷却,有利于太阳能电池的应力释放,保证了太阳能电池的性质稳定,不会有炸片的情况发生。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图。
图2为本实用新型侧面投影图。
具体实施方式
由附图所示:该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱1、2、3、电池挂片箱4、传送导轨5,所述的传送导轨5设置在三个冷却箱1、2、3的上面,电池挂片箱4挂装在传送导轨5上。
所述的前面的冷却箱1的温度设置为150℃,中间的冷却箱2的温度设置为90℃,后面的冷却箱3的温度设置为30℃。
所述的传送导轨5贯穿于三个冷却箱1、2、3,并在冷却箱以后延伸出一段6置于室温下,即直接在室温下对太阳能电池进行冷却。
工作过程如下:设置在电池挂片箱4内的太阳能电池从等离子体化学气相沉积设备沿传送导轨5出来以后,电池温度大约在180℃,使其先通过第一个冷却箱1对其冷却,使太阳能电池降温至150℃,再通过第二个冷却箱2,降温至90℃,然后通过第三个冷却箱3,降温至30℃,最后从第三个冷却箱3出来以后,直接进入室温,在传送导轨5的后段6上逐步冷却至室温。整个过程使太阳能电池从等离子体化学气相沉积设备出来时的180℃逐步冷却到室温。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的