[实用新型]一种硅棒粘结机构无效
申请号: | 200920101832.7 | 申请日: | 2009-03-10 |
公开(公告)号: | CN201361952Y | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
发明(设计)人: | 冯立军;吴立涛 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 石家庄科诚专利事务所 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 粘结 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种加工硅棒的设备,尤其是一种硅棒粘结工序用的机构。
背景技术
目前,在加工单晶硅棒过程中,通常将圆形的硅棒加工成方形,首先将圆柱形的硅棒按规定截段,再将硅棒的一端粘接在粘结托上,从而进行开方工序。单晶硅棒粘与粘结托的粘接精度直接影响硅棒开方的合格率。现有技术中所使用的硅棒粘接工装机构,采用V型夹具和顶杆对单晶硅棒进行粘接,这种方式硅棒易发生偏移,粘接精度差,影响方棒单晶产量。
实用新型内容
本实用新型需要解决的技术问题是提供能对单晶硅棒精确定位,粘结精度高的机构。
为解决上述技术问题,本实用新型的硅棒粘结机构,包括床体、粘结托、V型夹具,粘结托、V型夹具纵向配装在床体上,在床体上设有硅棒定位装置,硅棒定位装置的中心线与粘结托的中心线重合。
作为本实用新型的改进,所述硅棒定位装置为两个四爪夹具,分别设置在V型夹具的两侧,其中一端的四爪夹具与粘结托的位置相同且两者为可替换装配。
所述硅棒定位装置可为三爪夹具。
由于采用了上述技术方案,本实用新型所取得的技术进步在于:
由于粘结托的中心线与四爪夹具或三爪夹具的中心线重合,又因为四爪夹具或三爪夹具有自动中心定位,使得四爪夹具或三爪夹具中心线与硅棒的中心线重合,从而也就保证了粘结托的中心线与硅棒的中心线重合,提高了定位精度,再用V型夹具对单晶硅棒夹紧,使单晶硅棒不会发生偏移,进一步保证了单晶硅棒的粘接精度。
附图说明
图1是本实用新型带粘结托的硅棒粘结机构的主视图;
图2是本实用新型带粘结托的硅棒粘结机构的俯视图;
图3是本实用新型两个四爪夹具的硅棒粘结机构的示意图。
其中:1、床体 2、粘结托 3、V型夹具 4,5、四爪夹具 6、丝杠
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明:
由图1、图2可知,本实用新型硅棒粘结机构,包括床体1、粘结托2、V型夹具3,两V型夹具3配装于床体1的丝杠6上,在床体1装配有粘结托2和四爪夹具4,粘结托2和四爪夹具4分别设置在两V型夹具3的两侧。粘结托2的中心线与四爪夹具4的中心线重合。
图3中,将图1和图2中的粘结托2改换为四爪夹具5,粘结托2与四爪夹具5的位置相同且两者为可替换装配,
在装夹单晶硅棒时,调整丝杠,使两个V型夹具3分离,把单晶硅棒放在四爪夹具4和5之间,使四爪夹具4和5夹紧单晶硅棒,此时四爪夹具4和5的中心线与单晶硅棒的中心线重合,再次调节丝杠6使两V型夹具3夹紧并固定单晶硅棒,然后将四爪夹具5去掉并替换为涂好粘结物的粘接托2,使粘接托2与单晶硅棒粘接在一起,这时粘接托2的中心线与单晶硅棒的中心线也重合,就达到了精确的粘接效果。
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