[实用新型]微加速度与微角速率单片集成传感器有效
| 申请号： | 200920101941.9 | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN201373883Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 杨拥军;吕树海;徐淑静;徐爱东;张旭辉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P3/26;B81B7/02;B81C5/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050002河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速度 速率 单片 集成 传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种微加速度与微角速率单片集成传感器，其特征在于：包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加速度传感器结构，上层温度传感器位于上层，构成微角速率传感器结构。
2、根据权利要求1所述的微加速度与微角速率单片集成传感器，其特征在于所述下层温度传感器数量为偶数，并且对称分布在加热器两侧的同一平面或不同平面内。
3、根据权利要求1所述的微加速度与微角速率单片集成传感器，其特征在于所述上层温度传感器数量为偶数，对称分布在加热器上方的两侧同一平面或不同平面内。
4、根据权利要求1或2所述的微加速度与微角速率单片集成传感器，其特征在于所述下层温度传感器数量为四个或八个。
5、根据权利要求1或3所述的微加速度与微角速率单片集成传感器，其特征在于所述上层温度传感器数量为四个。
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