[实用新型]一种硅单晶切割籽晶专用夹具

权利要求书

1.一种硅单晶切割籽晶专用夹具，其特征在于：构成中包括基准弯板(1)、基准板(5)、调整板(4)和石墨垫(3)，所述基准弯板由相互垂直的立板(1-1)和平板(1-2)构成，所述基准板与平板平行且固定在平板上，所述调整板位于基准板上部、与基准板形成可调固定连接，所述石墨垫粘接在调整板上表面，其上表面为硅单晶(2)的粘接面。

2.根据权利要求1所述的硅单晶切割籽晶专用夹具，其特征在于：所述基准板与调整板均为方形板，上述两板在四个顶角处由锁紧螺栓(6)连接，基准板上还设有四个调整螺栓(9)，各调整螺栓位于相邻两锁紧螺栓连线中心，调整螺栓顶部触及调整板。

3.根据权利要求2所述的硅单晶切割籽晶专用夹具，其特征在于：所述调整板上设有四个调整凹(4-1)，各调整凹位置分别对应调整螺栓，所述调整螺栓顶端为凸弧面。

4.根据权利要求1或2或3所述的硅单晶切割籽晶专用夹具，其特征在于：所述平板上设有限位凹槽(7)，所述调整板位于限位凹槽内并由中心螺栓(8)固定。