[实用新型]多晶硅生产线四氯化硅处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅生产线四氯化硅处理系统，属于在特定环境条件下使用的能源回收及环保整套系统。

背景技术

多晶硅生产线产生的四氯化硅，是一种对环境高污染、对人体产生高度危害的废气，国内外长久以来都没有成功的治理措施，因此限制了多晶硅行业的发展。近年来随着国家强力推动光伏新能源产业，在政府的大力支持及良好的市场前景推动下，多晶硅的生产如雨后春笋般蓬勃发展，但其所产生的有害副产品四氯化硅制约了企业的建立和发展。为解决这一世界性难题，许多公司科技人员一直刻苦攻关，以求将多晶硅生产线四氯化硅采用有效方法转化成为二氧化硅和盐酸进行回收，既解决了环保问题，又实现废物再利用。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种解决环保难题，回收二氧化硅和盐酸、易管理维护的多晶硅生产线四氯化硅处理系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案如下：

一种多晶硅生产线四氯化硅处理系统，本系统包括四氯化硅热汽化装置、分离釜、无填料喷雾式吸收塔、静压釜、降膜盐酸回收器、填料式盐酸二次回收器、真空泵、压滤装置、闪蒸干燥装置、二氧化硅存放罐组成。多晶硅生产线产生的液态四氯化硅进入热汽化装置，热汽化装置将液态的四氯化硅变为气态的四氯化硅，热汽化装置的出气口接分离釜的进气口，分离釜的出气口接无填料喷雾式吸收塔的进气口，无填料喷雾式吸收塔的出气口接静压釜的进气口，静压釜的出气口接降膜盐酸回收器的进气口，降膜盐酸回收器的出气口接填料式盐酸二次回收器的进气口，填料式盐酸二次回收器的出气口接真空泵。降膜盐酸回收器和填料式盐酸二次回收器的出液口接盐酸储罐。无填料喷雾式吸收塔的出料口接压滤装置的进料口，压滤装置的出料口接闪蒸干燥装置的进料口，闪蒸干燥装置的出料口与二氧化硅存放罐接通。

本实用新型可根据应用要求安装自动控制元器件，如气体在线分析仪、流量传感器(气、液)、压力温度传感器、盐酸浓度传感器、电磁阀、液位控制计、PH值控制计以及电导率仪等，实现自动检测盐酸浓度、盐酸自动达标储存、自动加液、自动排污、超标报警等，从而实现系统运行及管理的自动化，自动数据显示。

本实用新型取得的有益效果是：本系统组成各部件安装简单，操作容易，系统运行平稳。

本实用新型的工作原理如下：

(1)二氧化硅固体回收

首先，多晶硅生产线产生的液态四氯化硅进入热汽化装置，热汽化装置将液态的四氯化硅变为气态的四氯化硅后，进入分离釜的进气口，经分离釜分离后，纯净的气态四氯化硅在真空泵的吸力下进入无填料喷雾式吸收塔的进气口，在塔内经喷淋的水与气态的四氯化硅发生化学反应，生成固液状的二氧化硅和氯化氢气体，固液状的二氧化硅进入压滤装置，将固液分离，固体的二氧化硅再通过压滤装置的出料口进入闪蒸干燥装置的进料口，闪蒸干燥装置将潮湿的二氧化硅进行闪蒸干燥处理，处理后的干燥二氧化硅送入二氧化硅存放罐，本二氧化硅固体回收工序完成.

(2)盐酸液体的回收

无填料喷雾式吸收塔内喷淋的水与气态的四氯化硅发生化学反应，生成固液状的二氧化硅和氯化氢气体，氯化氢气体在真空泵的吸力下进入静压釜的进气口，静压釜的出气口接降膜盐酸回收器的进气口，在降膜盐酸回收器内，氯化氢气体与水反应生成一次盐酸，没有反应完的氯化氢气体再进入到填料式盐酸二次回收器的进气口，在填料式盐酸二次回收器内，氯化氢气体再次与水反应生成二次盐酸，所生成的盐酸全部进入盐酸回收储罐中，本盐酸回收工序完成。在本制酸反应过程中，生成的低浓度的稀酸溶液参与到酸循环反应中，用后道工序制成的稀酸溶液参与上道工序减少的循环液中去，浓度达到工艺要求后，集中存放。

本实用新型可采用自动控制，自动数字显示，实现全自动管理模式。

附图说明

图1是本实用新型的设备配置图。

图中标号代表的含义如下：

1、四氯化硅热汽化装置；2、分离釜；3、无填料喷雾式吸收塔；4、压滤装置；5、闪蒸干燥装置；6、静压釜；7、降膜盐酸回收器；8、填料式盐酸二次回收器；9、真空泵；10、盐酸储罐；11、二氧化硅存放罐。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述。