[实用新型]LED蓝宝石衬底划片机有效

专利信息
申请号: 200920106829.4 申请日: 2009-03-25
公开(公告)号: CN201399655Y 公开(公告)日: 2010-02-10
发明(设计)人: 闵大勇;卢飞星;赵宇;李轶 申请(专利权)人: 武汉华工激光工程有限责任公司
主分类号: B23K26/00 分类号: B23K26/00;B23K26/16;F16F15/04
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人: 赵 军
地址: 430223湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: led 蓝宝石 衬底 划片
【权利要求书】:

1、一种LED蓝宝石衬底划片机,其包括有箱体,所述箱体包括有上半箱体和下半箱体,所述上半箱体的底面以及顶端分别设置有隔板;

其特征在于,

所述顶端隔板上部设置有用于加装激光器的激光器安装装置、用于所述激光器焦点聚光的外光路系统及图像采集装置,所述图像采集装置包括有高倍显微镜头以及能够把光学影像转化为数字信号的图像采集电荷耦合器件,所述顶端隔板下部设置有气路装置、组合聚焦镜装置以及用于调节所述激光焦点的焦距自动调节装置;

所述底面隔板上设置有组合工作台装置,用于放置LED蓝宝石衬底的组合工作台装置包括有精密旋转马达以及二维直线电机数控工作台;

所述下半箱体上设置有用于控制所述激光器工作的主控箱以及与主控箱相连接的工控机,所述工控机还分别与图像采集装置及组合工作台装置相连接。

2、根据权利要求1所述的LED蓝宝石衬底划片机,其特征在于,所述隔板与上半箱体之间分别设置有减震垫。

3、根据权利要求1所述的LED蓝宝石衬底划片机,其特征在于,所述顶端隔板下部还设置有用于排除加工过程中产生的灰尘粉粒的抽尘装置。

4、根据权利要求1至3中任意一项权利要求所述的LED蓝宝石衬底划片机,其特征在于,所述组合工作台装置还包括有能够将所述LED蓝宝石衬底吸附固定在工作台台面上的真空吸附装置。

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