[实用新型]薄膜太阳能电池划线装置无效
申请号: | 200920106830.7 | 申请日: | 2009-03-25 |
公开(公告)号: | CN201402815Y | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
发明(设计)人: | 闵大勇;卢飞星;赵宇;叶春清 | 申请(专利权)人: | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/78;B23K26/36 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵 军 |
地址: | 430223湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 太阳能电池 划线 装置 | ||
1、一种薄膜太阳能电池划线装置,包括有机架,所述机架包括有呈箱体结构的下部以及呈龙门结构的上部,其特征在于,
所述机架下部箱体内设置有电器系统、用于控制激光器的主控箱、工控机以及气路系统,所述机架下部箱体的外侧设置有控制台,所述控制台与工控机相连接,所述机架下部箱体上方设置有Y方向运动系统,所述Y方向运动系统包括有用于放置薄膜太阳能电池的工作台以及与工控机相连接的数控直线电机,所述工作台上还设置有用于固定薄膜太阳能电池的定位汽缸组;
所述机架上部龙门结构上设置有X方向运动系统,所述X方向运动系统包括有运动台以及与所述工控机相连接的数控直线电机,所述运动台上设置有用于加装所述激光器的激光器安装装置、分光装置、组合聚焦装置以及用于采集薄膜太阳能电池图像信息的图像采集装置,所述图像采集装置包括有高倍显微镜头以及能够把光学影像转化为数字信号的图像采集电荷耦合器件,所述图像采集装置与工控机相连接。
2、根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池划线装置,其特征在于,所述分光装置为4路、6路或8路分光装置。
3、根据权利要求1或2所述的薄膜太阳能电池划线装置,其特征在于,所述薄膜太阳能电池划线装置还包括有设置在机架上部的用于排除加工过程中产生的灰尘粉粒的抽尘装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的