[实用新型]适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片无效
| 申请号： | 200920106986.5 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN201383013Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 杨晋玲;周美强;周威;唐龙娟;朱银芳;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B1/10;G02B1/02;G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适用于 激光 聚焦 测量 装置 光学 窗口 | ||
【权利要求书】：
1、一种适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，其特征在于，该光学窗口片包括：
光学玻片(101)；
蒸镀在光学玻片(101)正面的正面增透膜(102)；以及
蒸镀在光学玻片(101)背面的背面增透膜(103)。
2、根据权利要求1所述的适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，其特征在于，所述光学玻片(101)采用的光学材料的折射率低于1.5。
3、根据权利要求1所述的适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，其特征在于，所述光学玻片(101)是熔融石英或石英晶体。
4、根据权利要求1所述的适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，其特征在于，所述光学玻片(101)双面平行且平行度小于5秒，厚度小于0.8mm。
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