[实用新型]质谱仪的取样装置的取样夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体取样技术领域，特别涉及一种质谱仪的取样装置的。

背景技术

质谱仪的取样装置是利用质谱分析仪器的工作压强和样品气体的压强不一致而必须进行气流调节或者利用抽气泵减压的原理，测量密封容器中，特别是电子元器件中，微量气体成分量的装置。测量时需将待测电子元器件紧固于取样装置的顶端平台，使取样过程中取样装置的穿刺针穿入待测元器件，取样夹具便是完成固定待测元器件的功能的装置。

现有的取样夹具仅针对某一种封装的元器件，这样，针对不同封装的元器件就需要不同设计的取样夹具，造成原材料浪费，且夹具制作成本高，加工周期也长。同时，现有的取样夹具所针对的元器件的封装也仅仅是比较常见的封装形式，例如双列直插封装、四周扁平封装、TO封装，而对于其他类型元器件，例如玻璃封装二极管、不规则元器件等，现有的取样夹具并不适用于将上述其他封装形式的元器件固定于质谱仪的取样装置进行其内微量气氛的取样。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种适用于包括小体积、不规则密封元器件等多种封装形式的元器件的固定、制作成本低、周期短的质谱仪的取样装置的取样夹具。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种质谱仪的取样装置的取样夹具，该取样夹具包括：公共部分，为长方体，所述长方体中心处有长方体凹槽；专用部分，包括插入所述凹槽的长方体连接块。

其中，所述专用部分还包括所述连接块固定连接的长方体元器件固定块。

其中，所述凹槽以及所述连接块的上下底面均为正方形，且所述连接块为完整长方体，或在其中心处有圆柱形中空。

其中，所述公共部分通过左、右两侧面中心处的半圆柱体中空固定槽固定在所述质谱仪的取样装置顶部平台的圆柱上。

其中，所述公共部分的前、后两面设置有加热温控孔。

其中，所述加热温控孔内放置加热棒或温度传感器。

其中，且所述元器件固定块为完整长方体，或在其中心处有圆柱形中空。

一种质谱仪的取样装置的取样夹具，所述取样夹具包括：长方体公共部分，所述公共部分中心处有长方体凹槽；元器件固定槽，位于所述凹槽中心处，所述元器件固定槽的中心处设置有通孔，对准所述取样装置的穿刺通孔，所述元器件固定槽外设置有O型密封圈；密封盖板，与所述凹槽形状相同，盖在所述O型密封圈上。

其中，所述公共部分通过左、右两侧面中心处的半圆柱体中空固定槽固定在所述质谱仪的取样装置顶部平台的圆柱上。

其中，所述公共部分前、后两面设置有加热温控孔。

附图说明

其中，所述加热温控孔内放置加热棒或温度传感器。

图1为本实用新型的取样夹具在质谱仪的取样装置使用的工作原理示意图；

图2为本实用新型的取样夹具公共部分的结构示意图；

图3为本实用新型的取样夹具专用部分的结构示意图；

图4为专用部分的优选的结构示意图；

图5为专用部分的另一个优选的结构示意图；

图6为本实用新型的另一个取样夹具的结构示意图；

图7为双列直插封装元器件示意图；

图8为T0封装元器件示意图；

图9为四周扁平封装元器件示意图；

图10为小体积不规则元器件示意图；

图11为引脚较长元器件示意图。

图中：1、公共部分；2、专用部分；3、凹槽；3’、连接块；4、固定槽；5、加热温控孔；6、6’、固定块；7、元器件固定槽；8、通孔；9、O型密封圈；10、密封盖板；11、取样装置夹具台圆柱；12、紧固螺丝；13、穿刺针；14、取样装置O型密封圈；15、元器件。

具体实施方式

本实用新型提出的质谱仪的取样装置的取样夹具，结合附图和实施例说明如下。

实施例1

本实施例所提供的质谱仪的取样装置的取样夹具是测量密封容器中，特别是电子元器件中，微量气体成分量的质谱仪的取样装置的取样夹具，该取样夹具放置于质谱仪的取样装置顶端的平台上，如图1所示，将待测元器件15固定在本实施例所提供的取样夹具上，放在质谱仪的取样装置的O型密封圈14上，拧紧紧固螺丝12后向下的压力将元器件15压紧在取样装置的O型密封圈14上，实现待测元器件15与取样装置的密封。取样时，将取样装置的穿刺针13从穿刺孔深处，刺破待测元器件15，将待测元器件15内部气氛去处，实现测量。本实施例的取样夹具适用于不同封装形式的电子元器件，如双列直插封装、四周扁平封装、TO封装、不规则小腔体密封元器件等。