[实用新型]气动真空机械手

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空传送领域，特别是一种涉及微电子设备所使用的气动真空机械手。

背景技术

自动化微电子设备在进行样品的传送过程中，不能破坏反应室中的真空环境，因此样品的移动(尤其是较长行程的移动)、转移需要由真空机械手来自动完成。在现有技术中，真空机械手的构造更多的是采用磁传动杆构造。由于磁传动杆的动作需要有一个较大的永久磁铁来驱动，其漏磁场对于电磁兼容要求条件较高的场合是不适宜的。同时，装在真空室内部的磁传动杆上的传动装置在运行过程中会产生颗粒污染，同时，实现磁传动需要外部附加诸如电机丝杠等的复杂机构才能实现自动化传送，因此除非需要超长行程传递样品之外，磁传动方式的局限性限制了其应用范围。

另外，以极座标方式工作的单臂或双臂折叠三维机器人式机械手，由于其行程较短，负载量较小，以及高昂的价格使其并不适宜科研及小批量生产型设备.

实用新型内容

为了解决现有技术存在的技术缺陷，本实用新型的目的在于提供一种气动真空机械手，以直线送进气缸代替磁力传动，保证气缸杆的真空密封，减少污染，简化结构，提高可靠性。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种气动真空机械手，包括气缸1、气缸过渡接头3和机械手臂6，其中：

气缸为导向气缸1，导向气缸1与气缸过渡接头3固定连接，气缸杆7与气缸过渡接头3之间具有密封圈2可移动密封。

密封圈2为“O”形密封圈。

气缸杆7与气缸过渡接头3之间具有两道密封圈2。

由于采用上述方案后，本实用新型在使用过程中，实现了用直线送进气缸代替磁力传动，保证了样品的自动化传送，解决了气缸杆的真空密封，减少了污染，而且仅有气缸杆留在样品室内，其余机构设置到样品装卸室的外部，简化了结构，降低制造成本，提高了可靠性。

附图说明

图1是连接到装卸室壁外侧上的气动真空机械手的剖视图。

图2是安装有气动真空机械手的多片全自动磁控溅射台的剖视图。

附图中标号：

1.导向气缸，2.密封圈，3.气缸过渡接头，4.密封圈，5.真空室壁，6.机械手臂，7.镀膜室，8样品升降机构.，9.升降机构，10.活塞杆。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

如图1中所示，导向气缸1通过气缸过渡接头3、密封圈4固定到反应室或样品装卸室的真空室壁5上，机械手臂6设置在气缸过渡接头3的内部与活塞杆10连接，气缸杆10通过两道”O”形密封圈2与气缸过渡接头3进行真空密封。在使用中，样品装在机械手的末端，在导向气缸1的推动下实现样品的平移。

下面通过图2结合样品装卸室11和镀膜室7来具体说明气动真空机械手1的工作过程：起始位置时机械手处于对准样品盒中最下面的第一片样片中心位置的下方，样品盒随即在升降机构9的作用下向下移动一个工位，将第一片样片转移到机械手上，在导向气缸1的推动下载有样片的机械手臂6向右方的镀膜室7移动，当移动到镀膜室7中样品盘上第1片的中心时，机械手臂6在样品升降机构8的作用下卸下样品，然后收回机械手臂6至起始位置同时样品升降机构8下降至最低位而样品盘则转至第2片位，其后重复以上动作直到将全部样品装完为止，卸片则执行相反的动作。